[发明专利]反转机和基板研磨装置有效
| 申请号： | 201610817482.9 | 申请日： | 2016-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN106994645B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 赤泽贤一;小林贤一;谷泽昭寻;保科真穗 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/00;B24B37/04;B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供使基板上下反转的小型的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。使基板(W)上下反转的反转机(100)具有：用于载置基板(W)的第一机械臂对(21a)；与所述第一机械臂对(21a)彼此相对的第二机械臂对(21b)；开闭机构(23)，对所述第二机械臂对(21b)进行开闭，以把持载置在所述第一机械臂对(21a)上的基板(W)；以及旋转机构(22)，使所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)绕规定的轴线(21)旋转，从而使所述基板(W)上下反转，其中，该规定的轴线(21)设定于它们的内侧且沿着所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)的延伸方向。 | ||
| 搜索关键词： | 转机 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对；开闭机构，该开闭机构对所述第二机械臂对进行开闭以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对绕规定的轴线旋转，从而使所述基板上下反转，所述规定的轴线设定于所述第一机械臂对和所述第二机械臂的内侧且沿着所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的延伸方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610817482.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
