[发明专利]反转机和基板研磨装置

说明书

本发明提供使基板上下反转的小型的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。使基板(W)上下反转的反转机(100)具有：用于载置基板(W)的第一机械臂对(21a)；与所述第一机械臂对(21a)彼此相对的第二机械臂对(21b)；开闭机构(23)，对所述第二机械臂对(21b)进行开闭，以把持载置在所述第一机械臂对(21a)上的基板(W)；以及旋转机构(22)，使所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)绕规定的轴线(21)旋转，从而使所述基板(W)上下反转，其中，该规定的轴线(21)设定于它们的内侧且沿着所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)的延伸方向。

技术领域

本发明涉及使基板上下反转的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。

背景技术

在以往的倒角研磨装置中，为了去除附着于倒角部的异物，大多使用研磨台，只对基板的周缘部进行研磨，而不对基板的背面进行研磨。在这种倒角研磨装置中，只对基板的表面进行清洗即可，可以不对背面进行清洗。

与此相对，近年来，开发了一种与基板的倒角部的研磨一同还对基板的背面进行研磨的倒角研磨装置(例如专利文献1)。在这种倒角研磨装置中，为了对基板的背面进行清洗，需要使基板上下反转。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-150178号公报

在此，若在用于使该基板反转的反转机中设置用于将上下反转后的基板交接给基板搬运装置的暂置台、或用于将基板放置于暂置台的升降机构，则存在装置会大型化的问题。

发明内容

本发明是鉴于这种问题而完成的，本发明的课题在于提供一种使基板上下反转的小型的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。

用于解决课题的手段

根据本发明的一个方式，提供一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对；开闭机构，该开闭机构对所述第二机械臂对进行开闭以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对绕规定的轴线旋转，从而使所述基板上下反转，所述规定的轴线设定于所述第一机械臂对和所述第二机械臂的内侧且沿着所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的延伸方向。

根据该结构，能够利用位于上侧的机械臂对和下侧的机械臂对来进行基板的交接和基板的反转。即，能够进行如下一系列动作：反转机在接收基板时，通过在保持关闭位于下侧的机械臂对的状态下打开位于上侧的机械臂对，而将基板载置于位于下侧的机械臂对。之后，关闭位于上侧的机械臂对来把持基板，保持将基板载置在位于下侧的机械臂对上的状态，使所述两组机械臂对绕单一的轴线旋转而使基板上下反转，接着，通过在保持关闭位于下侧的机械臂对的状态下打开位于上侧的机械臂对，而能够将载置于位于下侧的机械臂对的基板交接给下个工序，因此不需要暂置台，能够使反转机小型化。

优选所述规定的轴线是所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的对称轴。

根据该结构，由于在上下反转前后，基板的位置一致，因此能够进一步使反转机小型化。

另外，根据本发明的其他方式，提供一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对，且构成为开闭自如以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述基板上下反转，并使得上下反转前的所述基板的位置与上下反转后的所述基板的位置大致一致。