[发明专利]反转机和基板研磨装置

权利要求书

1.一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：

第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板，且具有第一臂和第二臂；

第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对，且具有第三臂和第四臂；

开闭机构，该开闭机构对所述第二机械臂对进行开闭，以在所述第二机械臂对关闭的状态下把持载置在所述第一机械臂对上的基板，且该开闭机构能够在不使所述第一机械臂对开闭的情况下使所述第二机械臂对开闭；以及

旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对绕规定的轴线旋转，从而使所述基板上下反转，所述规定的轴线设定于所述第一机械臂对和所述第二机械臂的内侧且沿着所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的延伸方向。

2.根据权利要求1所述的反转机，其特征在于，

所述规定的轴线是所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的对称轴。

3.一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：

第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板，且具有第一臂和第二臂；

第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对，且具有第三臂和第四臂，该第二机械臂对构成为开闭自如，以在该第二机械臂对关闭的状态下把持载置在所述第一机械臂对上的基板，并且能够在不使所述第一机械臂对开闭的情况下使所述第二机械臂对开闭；以及

旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述基板上下反转，并使得上下反转前的所述基板的位置与上下反转后的所述基板的位置大致一致。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的反转机，其特征在于，

该反转机构成为所述旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述第一机械臂对的机械臂部件与所述第二机械臂对的机械臂部件的位置关系分别互换。

5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的反转机，其特征在于，具有：

第一冲洗喷嘴,该第一冲洗喷嘴对被把持的所述基板的上表面供给冲洗水；以及

第二冲洗喷嘴，该第二冲洗喷嘴对被把持的所述基板的下表面供给冲洗水。

6.根据权利要求5所述的反转机，其特征在于，

具有清洗槽，该清洗槽收纳所述第一机械臂对、所述第二机械臂对、所述第一冲洗喷嘴以及所述第二冲洗喷嘴。

7.根据权利要求6所述的反转机，其特征在于，

在所述清洗槽，在与所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于下侧的机械臂对对应的位置设置有能够使所述基板进出的开口，

该反转机具有设置于所述开口的闸门。

8.根据权利要求1至3中的任意一项所述的反转机，其特征在于，

构成所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的机械臂部件具有至少三个用于把持所述基板的挡块。

9.根据权利要求1至3中的任意一项所述的反转机，其特征在于，

还具有槽口校准器，该槽口校准器将设置于所述基板的槽口校正到规定位置。

10.根据权利要求3所述的反转机，其特征在于，

具有对所述第一机械臂对和所述第二机械臂对进行开闭的开闭机构，且所述开闭机构能够在不使所述第二机械臂对开闭的情况下使所述第一机械臂对开闭。