[发明专利]一种掩膜版及其制作方法

摘要

本发明公开了一种掩膜版及其制作方法。所述制作方法包括提供一掩膜基板，所述掩膜基板包括相对的玻璃面和蒸镀面；采用激光在所述掩膜基板的玻璃面侧形成多个相互独立的凹槽；采用黄光工艺在所述掩膜基板的蒸镀面侧对应所述凹槽形成多个开孔，所述多个开孔分别与对应的凹槽连通。本发明实施例提供的技术方案，相对于现有技术中分别在玻璃面和蒸镀面采用黄光工艺的掩膜版制作方法，减少了一次黄光工艺，进而提高了掩膜版的制作效率，且由于采用激光形成的凹槽与对应开孔连通后能够平滑过渡，避免了连接处阴影效应的产生，提高了掩膜版的精度。

主权项

一种掩膜版的制作方法，其特征在于，包括：提供一掩膜基板，所述掩膜基板包括相对的玻璃面和蒸镀面；采用激光在所述掩膜基板的玻璃面侧形成多个相互独立的凹槽；以及采用黄光工艺在所述掩膜基板的蒸镀面侧对应所述凹槽形成多个开孔，所述多个开孔分别与对应的凹槽连通。