[发明专利]一种激光干涉仪的光路调校装置和调校方法有效
| 申请号： | 201610781966.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106323162B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 茂莱（南京）仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211102 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光干涉仪的光路调校装置，包括测试光路和成像光路，测试光路中激光器S1发出的激光通过空间滤波器Q1，再经过偏振分光棱镜P1转折90度后通过其上方的1/4波片P3，再经过95/5分光镜P2转折90度后通过准直物镜Q2到达平面镜M4；成像光路包括平面镜M4，所平面镜M4位于测试光路中准直物镜Q2水平方向激光入射的另一侧，被反射回的激光沿水平返回，经过95/5分光镜P2转折90度后通过1/4波片P3，再经过所述偏振分光棱镜P1，然后通过反射镜M1和反射镜M2转折经过中继镜Q3，再经过反射镜M3转折到变焦镜头Q4，最终干涉激光成像在CCD相机S2上。 | ||
| 搜索关键词： | 转折 测试光路 反射镜 平面镜 偏振分光棱镜 激光 成像光路 调校装置 激光干涉 分光镜 波片 光路 空间滤波器 激光成像 准直物镜 激光器 中继镜 变焦 调校 入射 物镜 反射 镜头 返回 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种激光干涉仪的光路调校装置，其特征在于：包括测试光路和成像光路，所述测试光路为激光器(S1)发出的激光通过空间滤波器(Q1)，再经过偏振分光棱镜(P1)转折90度后穿过1/4波片(P3)，再经过95/5分光镜(P2)转折90度后通过准直物镜(Q2)到达平面镜(M4)；所述成像光路为被平面镜(M4)反射的激光，平面镜(M4)位于测试光路中准直物镜(Q2)水平方向激光入射的另一侧，被反射的激光沿水平返回，穿过准直物镜(Q2)后经过95/5分光镜(P2)转折90度，再穿过1/4波片(P3)、偏振分光棱镜(P1)，通过反射镜I(M1)和反射镜II(M2)转折后穿过中继镜(Q3)，再经过反射镜III(M3)转折到变焦镜头(Q4)，最终到达CCD相机(S2)上成像；在平面镜(M4)反射面的反面水平光路处放置剪切板(W1)和角锥棱镜(W2)；在空间滤波器(Q1)和偏振分光棱镜(P1)之间的水平轴线上设置小孔光阑I(F1)；在95/5分光镜(P2)和准直物镜(Q2)之间的水平轴线上分别设置小孔光阑V(F5)和小孔光阑VI(F6)；在95/5分光镜(P2)和1/4波片(P3)之间的垂直光路上设置小孔光阑III(F3)；在反射镜I(M1)垂直入射光路后方设置小孔光阑VIII(F8)；在95/5分光镜(P2)水平透射光路的后方设置小孔光阑VII(F7)；在反射镜I(M1)反射的水平光路后端设置小孔光阑IX(F9)；在反射镜II(M2)的上端垂直反射光路上设置小孔光阑X(F10)；在反射镜III(M3)左侧水平反射光路上设置小孔光阑XII(F12)。
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