[发明专利]一种激光干涉仪的光路调校装置和调校方法

权利要求书

1.一种激光干涉仪的光路调校装置，其特征在于：包括测试光路和成像光路，所述测试光路为激光器(S1)发出的激光通过空间滤波器(Q1)，再经过偏振分光棱镜(P1)转折90度后穿过1/4波片(P3)，再经过95/5分光镜(P2)转折90度后通过准直物镜(Q2)到达平面镜(M4)；

所述成像光路为被平面镜(M4)反射的激光，平面镜(M4)位于测试光路中准直物镜(Q2)水平方向激光入射的另一侧，被反射的激光沿水平返回，穿过准直物镜(Q2)后经过95/5分光镜(P2)转折90度，再穿过1/4波片(P3)、偏振分光棱镜(P1)，通过反射镜I(M1)和反射镜II(M2)转折后穿过中继镜(Q3)，再经过反射镜III(M3)转折到变焦镜头(Q4)，最终到达CCD相机(S2)上成像；

在平面镜(M4)反射面的反面水平光路处放置剪切板(W1)和角锥棱镜(W2)；在空间滤波器(Q1)和偏振分光棱镜(P1)之间的水平轴线上设置小孔光阑I(F1)；在95/5分光镜(P2)和准直物镜(Q2)之间的水平轴线上分别设置小孔光阑V(F5)和小孔光阑VI(F6)；在95/5分光镜(P2)和1/4波片(P3)之间的垂直光路上设置小孔光阑III(F3)；在反射镜I(M1)垂直入射光路后方设置小孔光阑VIII(F8)；在95/5分光镜(P2)水平透射光路的后方设置小孔光阑VII(F7)；在反射镜I(M1)反射的水平光路后端设置小孔光阑IX(F9)；在反射镜II(M2)的上端垂直反射光路上设置小孔光阑X(F10)；在反射镜III(M3)左侧水平反射光路上设置小孔光阑XII(F12)。

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪的光路调校装置，其特征在于：所述激光器为氦氖激光器。

3.一种权利要求1所述激光干涉仪的光路调校装置的调校方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，在平面镜(M4)反射面的反面水平光路处放置剪切板(W1)和角锥棱镜(W2)，在空间滤波器(Q1)和偏振分光棱镜(P1)之间的水平轴线上设置小孔光阑I(F1)，调整激光器(S1)和偏振分光棱镜(P1)，使细光束通过小孔光阑I(F1)后，取走小孔光阑I(F1)；

步骤2，在95/5分光镜(P2)和准直物镜(Q2)之间的水平轴线上分别设置小孔光阑V(F5)和小孔光阑VI(F6)，调整95/5分光镜(P2)，使细光束分别通过小孔光阑V(F5)和小孔光阑VI(F6)后，取走小孔光阑V(F5)和小孔光阑VI(F6)；

步骤3，分别在95/5分光镜(P2)和1/4波片(P3)之间的垂直光路上、反射镜I(M1)垂直入射光路后方以及95/5分光镜(P2)水平透射光路的后方设置小孔光阑III(F3)、小孔光阑VII(F7)和小孔光阑VIII(F8)，调整角锥棱镜(W2)使细光束返回后通过小孔光阑III(F3)、小孔光阑VII(F7)和小孔光阑VIII(F8)，取走小孔光阑III(F3)；

步骤4，在反射镜I(M1)反射的水平光路后端设置小孔光阑IX(F9)，调整反射镜I(M1)，使光通过小孔光阑IX(F9)；

步骤5，在反射镜II(M2)的上端垂直反射光路上设置小孔光阑X(F10)，调整反射镜II(M2)，使光通过小孔光阑X(F10)，取走小孔光阑X(F10)；

步骤6，在反射镜III(M3)左侧水平反射光路上设置小孔光阑XII(F12)，调整反射镜III(M3)，使光通过小孔光阑XII(F12)，取走小孔光阑XII(F12)；

步骤7，调整空间滤波器(Q1)和准直物镜(Q2)，使光束居中、均匀，转动1/4波片(P3)调视场亮度到一定值；

步骤8，转动准直物镜(Q2)，使剪切板条纹小于2条；

步骤9，调整中继镜(Q3)，使光束居中，均匀；

步骤10，调整变焦镜头(Q4)，使光束成像在CCD相机(S2)中间且变倍调焦光斑始终居中。