[发明专利]水平调节装置、压环组件及半导体加工设备

摘要

本发明提供了一种水平调节装置、压环组件及半导体加工设备。本发明的水平调节装置包括第一本体和第二本体；第一本体和第二本体中的一个上设置有凸部，另一个上设置有容纳凸部的凹部，凹部的深度小于凸部的高度，以使凹部容纳部分凸部；第一本体与待调节件相连；通过凹部和凸部相接触的表面滑动可使第一本体相对水平面的倾斜程度变化，以调节待调节件的水平度。本发明提供的水平调节装置，可以在很大程度上增大调节范围，进而便于实现水平的调节。本发明的压环组件包括本发明的水平调节装置。本发明的半导体加工设备包括本发明的压环组件。

主权项

一种水平调节装置，其特征在于，包括第一本体和第二本体；所述第一本体和所述第二本体中的一个上设置有凸部，另一个上设置有凹部，所述凹部的深度小于所述凸部的高度，以使所述凹部容纳部分所述凸部；所述第一本体与待调节件相连；通过所述凹部和所述凸部相接触的表面滑动可使所述第一本体相对水平面的倾斜程度变化，以调节所述待调节件的水平度。