[发明专利]镀膜生产线多级气氛隔离装置有效
| 申请号： | 201610616844.8 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106277816B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 徐旻生;庄炳河;张永胜;王应斌;龚文志;满小花;崔汉夫;张雨龙 | 申请（专利权）人： | 爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜生产线多级气氛隔离装置，用于在镀膜生产线中隔离相邻两镀膜室的工作气氛，包括至少两个依次邻接且以隔板相分隔的隔离室以及至少两个与所述隔离室一一对应连通设置的真空泵，在所述隔板中部还设有两端分别连通所述相邻两隔离室的狭缝通道，所述狭缝通道的上下两侧的通道壁板的两端自所述隔板分别向所述狭缝通道所连通的两隔离室内延伸预定长度。本发明在传统的气阱隔离方式基础之上，增加气阱隔离的级数，同时还配合采用狭缝通道连接相邻的隔离室而实现隔离效果更好的狭缝隔离，从而使整个隔离装置的气氛隔离效果提升，能有效满足高精度要求的气氛隔离需求，尤其适合用于例如IMITO等需要多种工艺气氛同步连续工作的镀膜工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 隔离室 隔板 镀膜生产线 隔离 气氛隔离装置 气氛隔离 气阱 连通 壁板 镀膜工艺 隔离方式 隔离效果 隔离装置 工艺气氛 工作气氛 精度要求 连通设置 上下两侧 通道连接 传统的 镀膜室 真空泵 邻接 分隔 室内 延伸 配合 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜生产线多级气氛隔离装置，用于在镀膜生产线中隔离相邻两镀膜室的工作气氛，其特征在于，所述气氛隔离装置包括至少四个依次邻接且以隔板相分隔的隔离室以及至少四个分别与每个所述隔离室一一对应连通设置的真空泵，以对各所述隔离室进行抽真空处理，在所述隔板中部还设有两端分别连通所述相邻两隔离室的狭缝通道，所述狭缝通道的上下两侧的通道壁板的两端自所述隔板分别向所述狭缝通道所连通的两隔离室内延伸预定长度。
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