[发明专利]镀膜生产线多级气氛隔离装置有效
| 申请号： | 201610616844.8 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106277816B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 徐旻生;庄炳河;张永胜;王应斌;龚文志;满小花;崔汉夫;张雨龙 | 申请（专利权）人： | 爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 狭缝 隔离室 隔板 镀膜生产线 隔离 气氛隔离装置 气氛隔离 气阱 连通 壁板 镀膜工艺 隔离方式 隔离效果 隔离装置 工艺气氛 工作气氛 精度要求 连通设置 上下两侧 通道连接 传统的 镀膜室 真空泵 邻接 分隔 室内 延伸 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜生产线多级气氛隔离装置，用于在镀膜生产线中隔离相邻两镀膜室的工作气氛，其特征在于，所述气氛隔离装置包括至少四个依次邻接且以隔板相分隔的隔离室以及至少四个分别与每个所述隔离室一一对应连通设置的真空泵，以对各所述隔离室进行抽真空处理，在所述隔板中部还设有两端分别连通所述相邻两隔离室的狭缝通道，所述狭缝通道的上下两侧的通道壁板的两端自所述隔板分别向所述狭缝通道所连通的两隔离室内延伸预定长度。
2.如权利要求1所述的镀膜生产线多级气氛隔离装置，其特征在于，所述至少四个隔离室中的位于两端的隔离室分别设有与对应的一个镀膜室相贯通的狭缝通槽，所述狭缝通槽的上下两侧的槽壁板分别朝向隔离室内部延伸预定长度。
3.如权利要求1所述的镀膜生产线多级气氛隔离装置，其特征在于，所述狭缝通道的长高比的范围为54:500～58:500。
4.如权利要求2所述的镀膜生产线多级气氛隔离装置，其特征在于，位于入口侧的所述狭缝通槽的长高比的范围为70:600～80:600；位于出口侧的所述狭缝通槽的长高比的范围为54:600～58:600。
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