[发明专利]搬送设备

摘要

本发明提供一种搬送设备，能够不使尘埃等外部物质流入到基板收纳用的收纳容器内，从而保持高洁净性，并且不需要高柔性的电缆，能够以低成本进行设备构建。在收纳容器(20)在搬送台车(50)与保管架(13)之间进行移交的期间，用于对向收纳容器(20)内送风的FFU(24)进行非接触供电的容器电极盘(28)不管是与搬送台车电极盘(58)分离还是与保管架电极盘(18)分离，都停止送风，但是，在送风停止过程中，到移交开始前为止，利用由FFU(24)提高了的收纳容器(20)内的内压来防止外部尘埃的流入，由此保持收纳容器(20)内的洁净性。

主权项

一种搬送设备，该搬送设备对物品收纳用的收纳容器进行搬送，其特征在于，设置有：搬送所述收纳容器的搬送机构和保管所述收纳容器的保管部，所述搬送机构具有移交装置，该移交装置在所述搬送机构与所述保管部之间移交所述收纳容器，所述收纳容器具有将洁净化了的空气输送到所述收纳容器内的送风装置，在所述搬送机构和所述保管部分别设置有送电机构，该送电机构在所述收纳容器被所述搬送机构搬送的期间、以及所述收纳容器被所述保管部保管的期间，从所述搬送机构或者所述保管部向所述送风装置提供动作电力，所述收纳容器在由所述移交装置在所述搬送机构与所述保管部之间进行移交的期间，能够通过由所述送风装置在到移交开始前为止进行的送风来被维持内压高于周围环境的状态，由此，能够防止在进行移交的期间从周围环境流入外部物质。