[发明专利]搬送设备

说明书

本发明提供一种搬送设备，能够不使尘埃等外部物质流入到基板收纳用的收纳容器内，从而保持高洁净性，并且不需要高柔性的电缆，能够以低成本进行设备构建。在收纳容器(20)在搬送台车(50)与保管架(13)之间进行移交的期间，用于对向收纳容器(20)内送风的FFU(24)进行非接触供电的容器电极盘(28)不管是与搬送台车电极盘(58)分离还是与保管架电极盘(18)分离，都停止送风，但是，在送风停止过程中，到移交开始前为止，利用由FFU(24)提高了的收纳容器(20)内的内压来防止外部尘埃的流入，由此保持收纳容器(20)内的洁净性。

技术领域

本发明涉及搬送物品收纳用容器的设备，特别涉及搬送用于收纳玻璃基板、半导体基板等要求高洁净性的物品收纳容器的搬送设备。

背景技术

为了提高制造平板显示器、半导体元件这样的精密装置的成品率，在制造设备中对平板显示器的制造过程中使用的玻璃基板、半导体元件的制造过程中使用的半导体基板(硅晶片等)这样的材料基板进行处理时，要求保持基板的高洁净性，使得尘埃等不想要的外部物质不会附着于基板。

因此，在制造工厂等的设备内搬送这些基板时，如专利文献1所述，有时采用以下方法：使用能在上下方向上并列收纳多个基板的矩形收纳容器，在该矩形收纳容器的两端形成的开口部的一侧安装有FFU(鼓风机过滤器单元；送风过滤装置)。根据该方法，通过由FFU将通过过滤器而被洁净化了的空气持续输送到收纳容器内，能够持续保持收纳容器内的洁净性。

但是，为了由FFU持续向收纳容器内送风，需要将用于驱动鼓风机的电力提供给FFU。于是，在专利文献1所记载的搬送设备中，收纳容器具有用于以非接触方式对FFU供电的非接触供电装置的受电部，而且，在用于收纳收纳容器的收纳架上，设置有非接触供电装置的供电部，在该收纳架上收纳有收纳容器的状态下，从收纳架的供电部以非接触方式向收纳容器的受电部供给电力，由此确保FFU的驱动电力。

在此，为了以非接触方式持续供给电力，需要保持非接触供电装置的供电部(送电部)接近受电部的状态，但是，在专利文献1所记载的搬送设备中，由在该设备内移动的堆垛起重装置来搬送收纳容器，因此，在由堆垛起重装置搬送收纳容器的期间，供电部与受电部是分离的。因此，在专利文献1中，设置有蓄积对收纳容器供给的电力的蓄电池，在供电部与受电部分离的期间，由蓄积于该蓄电池的电力来驱动FFU。

但是，如果对设备内大量使用的收纳容器一个一个安装蓄电池，则构建设备的成本增高，而且时间长了，蓄电池会因寿命原因而功能降低，因此，需要花费人力和时间来更换蓄电池。从而导致设备运营成本也增高。

于是，如图8(a)所示，有以下方法：在移交时从堆垛起重装置80的主体部向收纳架81移动的叉子85上，设置送电电极盘89b(送电器)。在移交过程中，如果从该叉上子85上的送电电极盘89b向收纳容器82的受电电极盘89a(受电器)供电，则移交过程中也能够继续驱动FFU84。如果是该方法，则不必对一个一个收纳容器82安装蓄电池，因此，与使用蓄电池时相比，能够以极低成本来构建设备，另外，也不必花费更换蓄电池等的人力和时间，设备运营成本也会降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011－91270号公报

发明内容

但是，为了在收纳容器82的移交动作过程中叉子85最接近收纳架81时(叉子85移动到比图8(a)所示的位置还靠收纳架81侧时)，叉子85侧的送电电极盘89b不与收纳架81侧的送电电极盘88b发生冲突，需要使叉子85最接近收纳架81时叉子85侧的送电电极盘89b的位置与收纳架81侧的送电电极盘88b的位置不同。