[发明专利]光罩传载装置有效
| 申请号： | 201610482102.0 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107544212B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 徐宗本;彭瑞君;李永尧 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 路勇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩传载装置，其包含控制器、机械手臂、固持部和电线整束结构。所述机械手臂的一端连接所述控制器，所述机械手臂的另一端连接于固持部。所述电线整束结构包含收纳管和缠绕部，其中所述收纳管的直径小于所述缠绕部的直径。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩传载 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光罩传载装置，其包括：/n控制器；/n机械手臂，其一端连接所述控制器；/n固持部，连接于所述机械手臂的另一端；其中所述机械手臂包含第一垂直部与第一水平部，所述第一垂直部与所述固持部相连；/n电线整束结构，放置于所述第一水平部，包含：/n收纳管；以及/n缠绕部，固定于所述收纳管之上，/n其中所述收纳管的直径小于所述缠绕部的直径。/n
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