[发明专利]光罩传载装置

说明书

本发明提供一种光罩传载装置，其包含控制器、机械手臂、固持部和电线整束结构。所述机械手臂的一端连接所述控制器，所述机械手臂的另一端连接于固持部。所述电线整束结构包含收纳管和缠绕部，其中所述收纳管的直径小于所述缠绕部的直径。

技术领域

本发明涉及光罩传载装置，特别涉及具有电线整束结构于机械手臂中的光罩传载装置。

背景技术

在集成电路工艺中，随着对产量和合格率与日渐增的需求，而发展出高度专业化与自动化的系统来传送光罩。光罩通常存储在光罩库(reticle library)内，且根据不同流程，例如光罩检测流程(IRIS inspection reticle flow path)、光罩区到曝光处理区流程(reticle move to lens flow path)和由内部光罩库去除光罩流程(removal of reticlefrom IRL flow path)等，光罩需要通过机械手臂(Robot)在各个库与区域间传输。

发明内容

本发明某些实施例提供一种光罩传载装置，其包含控制器、机械手臂、固持部和电线整束结构。所述机械手臂的一端连接所述控制器，另一端连接于固持部。所述机械手臂包含第一垂直部与第一水平部，所述第一垂直部与所述固持部相连。所述电线整束结构包含收纳管以及缠绕部，其中所述收纳管的直径小于所述缠绕部的直径。

本发明某些实施例提供一种用于光罩传载装置的电线整束结构，包含具有第一直径的收纳管；具有第二直径的缠绕部，固定于所述收纳管之上；具有第三直径的抵顶部，固定于所述缠绕部之上。所述第一直径小于所述第二直径，且所述第二直径小于所述第三直径。

本发明某些实施例提供一种光罩传载装置，其包括控制器、机械手臂、固持部、扭力传感器、电线整束结构和电线。所述机械手臂的一端连接所述控制器，另一端连接于固持部。所述机械手臂包含垂直部与水平部，所述垂直部与所述固持部相连。所述扭力传感器置于所述机械手臂的垂直部与所述固持器之间。所述电线整束结构放置于所述水平部，包含收纳管、固定于所述收纳管之上的缠绕部和固定于所述缠绕部之上的抵顶部，其中所述收纳管的直径小于所述缠绕部的直径。其中所述电线通过所述收纳管、缠绕于所述缠绕部并抵止于所述抵顶部。

附图说明

由以下详细说明与附随图式得以最佳了解本申请案揭示内容的各方面。注意，根据产业的标准实施例，各种特征并非依比例展示。实际上，为了清楚讨论，可任意增大或缩小各种特征的尺寸。

图1是根据一些实施例说明光罩传载装置的例示布局示意图。

图2是根据一些实施例说明的光罩传载装置的上视图。

图3是根据一些实施例说明的机械手臂与固持部的横截面示意图。

图4是根据一些实施例说明的用于光罩传载装置的电线整束结构的横截面示意图。

图5是根据一些实施例说明的电线整束结构的立体图。

图6是根据一些实施例说明的电线整束结构的分解图。

具体实施方式

以下揭示内容提供许多不同的实施例或范例，用于实施本申请案的不同特征。元件与布置的特定范例的描述如下，以简化本申请案的揭示内容。当然，这些仅为范例，并非用于限制本申请案。例如，以下描述在第二特征上或上方形成第一特征可包含形成直接接点的第一与第二特征的实施例，也可包含在所述第一与第二特征之间形成其它特征的实施例，因而所述第一与第二特征并非直接接点。此外，本申请案可在不同范例中重复元件符号和/或字母。此重复是为了简化与清楚的目的，而非支配不同实施例和/或所讨论架构之间的关系。再者，本申请案所述的一些方法实施例是以特定顺序进行；然而，其它方法实施例可考量以任何逻辑顺序进行。