[发明专利]光罩传载装置

权利要求书

1.一种光罩传载装置，其包括：

控制器；

机械手臂，其一端连接所述控制器；

固持部，连接于所述机械手臂的另一端；其中所述机械手臂包含第一垂直部与第一水平部，所述第一垂直部与所述固持部相连；

电线整束结构，放置于所述第一水平部，包含：

收纳管；以及

缠绕部，固定于所述收纳管之上，

其中所述收纳管的直径小于所述缠绕部的直径。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述收纳管与所述缠绕部都包含中空腔体。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述缠绕部的上表面进一部包含缺口，与缠绕部的中空腔体相通。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述电线整束结构进一步包含抵顶部，置于所述缠绕部之上，所述抵顶部的直径大于所述缠绕部的直径。

5.根据权利要求3所述的装置，进一步包含电线，通过所述缠绕部的所述上表面的所述缺口。

6.一种用于光罩传载装置的电线整束结构，包含：

收纳管，具有第一直径；

缠绕部，固定于所述收纳管之上，具有第二直径；以及

抵顶部，固定于所述缠绕部之上，具有第三直径，

其中所述第一直径小于所述第二直径，且所述第二直径小于所述第三直径。

7.根据权利要求6所述的电线整束结构，其中所述收纳管、所述缠绕部、所述抵顶部都具有相互对准的中空腔体，且所述缠绕部的上表面具有缺口与所述中空腔体相通。

8.根据权利要求7所述的电线整束结构，其中所述缠绕部的侧表面缠绕通过所述缺口的电线。

9.一种光罩传载装置，其包括：

控制器；

机械手臂，其一端连接所述控制器；

固持部，连接于所述机械手臂的另一端；其中所述机械手臂包含垂直部与水平部，所述垂直部与所述固持部相连；

扭力传感器，置于所述机械手臂的垂直部与所述固持部之间；

电线整束结构，放置于所述水平部，包含：

收纳管；

缠绕部，固定于所述收纳管之上；以及

抵顶部，固定于所述缠绕部之上，

其中所述收纳管的直径小于所述缠绕部的直径；以及

电线，通过所述收纳管、缠绕于所述缠绕部并抵止于所述抵顶部。

10.根据权利要求9所述的装置，其中缠绕于所述缠绕部的电线随着所述固持部相对于所述机械手臂垂直部的相对转动而松开或收紧。