[发明专利]线路板结构的制造方法有效

专利信息
申请号: 201610417765.4 申请日: 2016-06-15
公开(公告)号: CN107516648B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 李建财;吴建德;罗正中 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;C03B33/02;H05K3/00;H05K3/32
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马雯雯;臧建明
地址: 中国台湾桃园市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种线路板结构的制造方法,其步骤如下。提供玻璃膜于静电吸盘上。进行切割工艺,以于玻璃膜中形成至少一裂缝。于玻璃膜中形成多个第一导通孔。于玻璃膜上形成第一线路层。于第一线路层上形成聚合物层。聚合物层覆盖第一线路层的表面以及玻璃膜的表面。于聚合物层中形成多个第二导通孔。于聚合物层上形成第二线路层,以形成第一线路板结构。进行单体化工艺,以将第一线路板结构分离为多个第二线路板结构。本发明可减少切割应力残留,同时提高产能。
搜索关键词: 线路板 结构 制造 方法
【主权项】:
一种线路板结构的制造方法,其特征在于,包括:提供具有上表面、下表面的玻璃膜,所述玻璃膜的下表面置于静电吸盘上;进行切割工艺,以于所述玻璃膜的上表面中形成至少一裂缝;于所述玻璃膜的上表面中形成多个第一导通孔;于所述玻璃膜的上表面上形成第一线路层,使得所述第一线路层与所述多个第一导通孔电性连接;于所述第一线路层上形成聚合物层,所述聚合物层覆盖所述第一线路层的表面以及所述玻璃膜的表面;于所述聚合物层中形成多个第二导通孔,其中所述多个第二导通孔与所述第一线路层电性连接;于所述聚合物层上形成第二线路层,使得所述第二线路层与所述多个第二导通孔电性连接,以形成第一线路板结构;以及进行单体化工艺,以将所述第一线路板结构分离为多个第二线路板结构。
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