[发明专利]半导体元件检查装置

摘要

本发明涉及半导体元件检查装置。检查部检查收纳于从装载部输送的托盘的半导体元件。分类部包括使从空托盘供给部输送的空托盘待机的第一待机区域、使收纳有完成检查的半导体元件的托盘待机的第二待机区域、以及将收纳有完成检查的半导体元件的另外的托盘临时保管的缓冲区域。残次品储存部将托盘从第一待机区域接收而装载。空托盘储存部将空托盘从缓冲区域接收而装载。卸载部将托盘从第二待机区域接收而装载。分类拾取器将残次品半导体元件拾取而收纳于第一待机区域的空托盘，在收纳于缓冲区域的托盘的半导体元件中将合格品半导体元件拾取而收纳于第二待机区域的托盘。包装部对收纳于第二待机区域的托盘的合格品半导体元件进行包装。

主权项

一种半导体元件检查装置，其特征在于，包括：本体；装载部，其供收纳有要执行检查的半导体元件的托盘装载；检查部，其检查收纳于从所述装载部输送的托盘中的半导体元件；空托盘供给部，其装载空托盘；分类部，其包括使从所述空托盘供给部输送的空托盘待机的第一待机区域、使收纳有完成检查的半导体元件的托盘待机的第二待机区域、以及将收纳有完成检查的半导体元件的另外的托盘临时保管的缓冲区域；残次品储存部，其将收纳有被分类为残次品的半导体元件的托盘从所述第一待机区域接收而装载；空托盘储存部，其将空托盘从所述缓冲区域接收而装载；卸载部，其将收纳有被分类为合格品的半导体元件或者收纳后全部排出的状态的托盘从第二待机区域接收而装载；与所述装载部、空托盘供给部、残次品储存部、空托盘储存部以及卸载部分别连结而输送托盘的第一托盘输送部、第二托盘输送部、第三托盘输送部、第四托盘输送部以及第五托盘输送部；转换器，其在所述本体的上侧被设置成能够在所述第一托盘输送部、第二托盘输送部、第三托盘输送部、第四托盘输送部以及第五托盘输送部之间进行往复；分类拾取器，其被设置成能够在所述第一待机区域、第二待机区域以及缓冲区域之间进行往复，在收纳于所述第二待机区域的托盘中的半导体元件中将残次品半导体元件拾取而收纳于所述第一待机区域的空托盘，并在收纳于所述缓冲区域的托盘中的半导体元件中将合格品半导体元件拾取而收纳于所述第二待机区域的托盘；以及包装部，其将收纳于所述第二待机区域的托盘中的合格品半导体元件通过包装拾取器接收并通过载带和盖带进行包装。