[发明专利]半导体元件检查装置

权利要求书

1.一种半导体元件检查装置，其特征在于，

包括：

本体；

装载部，其供收纳有要执行检查的半导体元件的托盘装载；

检查部，其检查收纳于从所述装载部输送的托盘中的半导体元件；

空托盘供给部，其装载空托盘；

分类部，其包括使从所述空托盘供给部输送的空托盘待机的第一待机区域、使收纳有完成检查的半导体元件的托盘待机的第二待机区域、以及将收纳有完成检查的半导体元件的另外的托盘临时保管的缓冲区域；

残次品储存部，其将收纳有被分类为残次品的半导体元件的托盘从所述第一待机区域接收而装载；

空托盘储存部，其将空托盘从所述缓冲区域接收而装载；

卸载部，其将收纳有被分类为合格品的半导体元件或者收纳后全部排出的状态的托盘从第二待机区域接收而装载；

与所述装载部、空托盘供给部、残次品储存部、空托盘储存部以及卸载部分别连结而输送托盘的第一托盘输送部、第二托盘输送部、第三托盘输送部、第四托盘输送部以及第五托盘输送部；

转换器，其在所述本体的上侧被设置成能够在所述第一托盘输送部、第二托盘输送部、第三托盘输送部、第四托盘输送部以及第五托盘输送部之间进行往复；

分类拾取器，其被设置成能够在所述第一待机区域、第二待机区域以及缓冲区域之间进行往复，在收纳于所述第二待机区域的托盘中的半导体元件中将残次品半导体元件拾取而收纳于所述第一待机区域的空托盘，并在收纳于所述缓冲区域的托盘中的半导体元件中将合格品半导体元件拾取而收纳于所述第二待机区域的托盘；以及

包装部，其将收纳于所述第二待机区域的托盘中的合格品半导体元件通过包装拾取器接收并通过载带和盖带进行包装，

所述包装部包括：

载带供给卷盘，其供给载带，在该载带沿着长度方向以一列排列有多个用于收纳半导体元件的口袋；

载带输送单元，其将从所述载带供给卷盘接收的载带以口袋的各入口朝向上方的状态向一个方向输送；

盖带供给单元，其在通过所述载带输送单元输送载带时供给盖带，以对收纳有通过所述包装拾取器向所述载带输送单元的收纳区域供给的半导体元件的载带的口袋进行覆盖；

密封单元，其使从所述盖带供给单元接收的盖带粘合在载带上而密封载带的口袋；

载带卷绕单元，其使空状态的卷绕卷盘依次向卷绕被所述密封单元密封的载带的卷绕位置移动，并使载带卷绕于分别移动至所述卷绕位置的卷绕卷盘；

切割单元，其将从所述密封单元向所述载带卷绕单元输送的载带，与分别要卷绕于所述卷绕卷盘的长度对应地切割；以及

附着单元，其在载带卷绕于所述卷绕卷盘时，使载带的前端附着于所述卷绕卷盘，并且使被所述切割单元切割的载带的后端附着于载带的被卷绕的部位。

2.根据权利要求1所述的半导体元件检查装置，其特征在于，

所述检查部包括：

第一视觉检查器，其对收纳于从所述装载部被所述第一托盘输送部输送的托盘中的半导体元件的一面进行二维检查；以及

第二视觉检查器，其对收纳于经过所述第一视觉检查器向所述分类部输送的托盘中的半导体元件的另一面进行二维检查；

所述转换器在收纳有经过了所述第一视觉检查器的半导体元件的托盘的上部将空托盘以上下翻转的方式层叠后，进行上下翻转，而将被上下翻转的半导体元件移向空托盘并向所述第二视觉检查器输送。

3.根据权利要求2所述的半导体元件检查装置，其特征在于，

所述检查部还包括第三视觉检查器，该第三视觉检查器对收纳于从所述装载部被所述第一托盘输送部输送的托盘中的半导体元件的一面进行三维检查。

4.根据权利要求1所述的半导体元件检查装置，其特征在于，

所述包装部还包括：

第四视觉检查器，其配置于所述载带输送单元的收纳区域和盖带供给单元之间，以检查收纳有半导体元件的载带的状态；以及

第五视觉检查器，其配置于所述密封单元和切割单元之间，以检查被所述密封单元密封的载带的状态。