[发明专利]防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法及其基板结构在审

专利信息
申请号: 201610348031.5 申请日: 2016-05-23
公开(公告)号: CN107424965A 公开(公告)日: 2017-12-01
发明(设计)人: 张嘉航 申请(专利权)人: 力成科技股份有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/56
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司31100 代理人: 郭蔚
地址: 中国台湾新竹县*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法,包含以下步骤提供一基板,其具有多个切割道交错排列以形成多个置芯区;形成一热固化胶层于至少部分切割道上;进行一加热步骤,加热基板并使热固化胶层硬化;提供多个芯片设置于多个置芯区;以及进行回焊制程使多个芯片与基板电性连接。利用胶体形成支撑结构于基板上可有效简化制程程序。一种防翘曲的基板结构亦于此处提出。
搜索关键词: 防止 基板翘曲 半导体 封装 结构 制造 方法 及其 板结
【主权项】:
一种防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法,其特征在于,包含以下步骤:提供一基板,该基板具有多个切割道交错排列以形成多个置芯区;形成一热固化胶层于至少部分该多个切割道上;进行一加热步骤,加热该基板并使该热固化胶层硬化;提供多个芯片,并将该多个芯片分别设置于该多个置芯区;以及进行回焊制程,使该多个芯片与该基板电性连接。
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