[发明专利]防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法及其基板结构在审
| 申请号: | 201610348031.5 | 申请日: | 2016-05-23 |
| 公开(公告)号: | CN107424965A | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
| 发明(设计)人: | 张嘉航 | 申请(专利权)人: | 力成科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 郭蔚 |
| 地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 防止 基板翘曲 半导体 封装 结构 制造 方法 及其 板结 | ||
1.一种防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法,其特征在于,包含以下步骤:
提供一基板,该基板具有多个切割道交错排列以形成多个置芯区;
形成一热固化胶层于至少部分该多个切割道上;
进行一加热步骤,加热该基板并使该热固化胶层硬化;
提供多个芯片,并将该多个芯片分别设置于该多个置芯区;以及
进行回焊制程,使该多个芯片与该基板电性连接。
2.如权利要求1所述的防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法,其特征在于,该多个芯片为覆芯芯片。
3.如权利要求1所述的防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法,其特征在于,该热固化胶层的材质包含树脂。
4.如权利要求1所述的防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法,其特征在于,更包含一封装步骤,形成一封装体至少包覆各该芯片。
5.如权利要求4所述的防止基板翘曲的半导体封装结构的制造方法,其特征在于,更包含一切割步骤,自该多个切割道分离该多个芯片以形成多个半导体封装结构。
6.一种防翘曲基板结构,其是用于一半导体封装结构的制造方法,其特征在于,该防翘曲基板结构包含:
一基板主体;
多个切割道,交错排列于该基板主体上以形成多个置芯区;以及
一热固化胶层,形成于至少部分该多个切割道上。
7.如权利要求6所述的防翘曲基板结构,其特征在于,更包含多个覆芯芯片分别设置于该多个置芯区中,且该多个覆芯芯片是与该基板电性连接。
8.如权利要求6所述的防翘曲基板结构,其特征在于,该热固化胶层包含一第一热固化胶层,该第一热固化胶层形成于相邻两该置芯区之间,且该第一热固化胶层相互交错设置。
9.如权利要求8所述的防翘曲基板结构,其特征在于,该热固化胶层更包含一第二热固化胶层设置于该多个置芯区的周边。
10.如权利要求9所述的防翘曲基板结构,其特征在于,该第二固化胶层与该第一固化胶层相互连结。
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