[发明专利]一种辅助手动晶圆键合装置

摘要

一种辅助手动晶圆键合装置，包括长直角弯头接头、晶圆槽A、晶圆槽B、定角度合页、缓冲块A、缓冲块B、直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C、直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C、弹簧A、弹簧B、弹簧C、直线轴承连接件和底座，长直角弯头接头较短一端与晶圆槽A中心通孔过盈配合，晶圆槽A通过定角度合页与直线轴承C固定连接，晶圆槽B通过三根直线光轴与底座固定连接，三根弹簧分别与三根直线光轴间隙配合且位于靠近底座一端；三根直线轴承分别与三根直线光轴过盈配合且分别与三根弹簧上端固定连接，缓冲块A、缓冲块B分别与直线轴承A、直线轴承B固定连接。本发明避免了双手与晶圆片的直接接触，改善了手动晶圆键合质量。

主权项

一种辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述辅助手动晶圆键合装置由长直角弯头接头、晶圆槽A、晶圆槽B、定角度合页、缓冲块A、缓冲块B、直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C、直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C、弹簧A、弹簧B、弹簧C、直线轴承连接件和底座构成，其中：所述长直角弯头接头连接有真空发生装置；所述长直角弯头接头较短一端与晶圆槽A中心通孔过盈配合；所述晶圆槽A通过定角度合页与直线轴承C固定连接；所述晶圆槽B通过直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C与底座固定连接；所述弹簧A、弹簧B、弹簧C分别与直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C间隙配合，且位于靠近底座一端；所述直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C分别与直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C过盈配合，且分别与弹簧A、弹簧B、弹簧C上端固定连接；所述缓冲块A、缓冲块B分别与直线轴承A、直线轴承B的上表面固定连接；所述直线轴承连接件与直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C固定连接。