[发明专利]一种辅助手动晶圆键合装置

权利要求书

1.一种辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述辅助手动晶圆键合装置由长直角弯头接头、晶圆槽A、晶圆槽B、定角度合页、缓冲块A、缓冲块B、直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C、直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C、弹簧A、弹簧B、弹簧C、直线轴承连接件和底座构成，其中：

所述长直角弯头接头连接有真空发生装置；

所述长直角弯头接头较短一端与晶圆槽A中心通孔过盈配合；

所述晶圆槽A通过定角度合页与直线轴承C固定连接；

所述晶圆槽B通过直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C与底座固定连接；

所述弹簧A、弹簧B、弹簧C分别与直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C间隙配合，且位于靠近底座一端；

所述直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C分别与直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C过盈配合，且分别与弹簧A、弹簧B、弹簧C上端固定连接；

所述缓冲块A、缓冲块B分别与直线轴承A、直线轴承B的上表面固定连接；

所述直线轴承连接件与直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C固定连接。

2.根据权利要求1所述辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述晶圆槽A 的上表面为“Ω”字形的凹槽状，且其深度略高于长直角弯头接头1较长端的高度0.5~1.0 mm；晶圆槽A的下表面设置有深度为0.2~0.3 mm的凹槽。

3.根据权利要求1或2所述辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述晶圆槽A的下表面边缘上设置有以长直角弯头接头所在的直线为轴线、与圆心连线成120º角的2个凹槽，以便分别与缓冲块A和缓冲块B相配合。

4.根据权利要求3所述辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述凹槽的深度为2 mm。

5.根据权利要求1所述辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述晶圆槽B上表面的中心位置设置有深度为0.2~0.3 mm的凹槽。

6.根据权利要求1或5所述辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述晶圆槽B 的边缘处设置有与圆心连线互成120º角的3个通孔，以便与直线光轴A 10、直线光轴B 11、直线光轴C 12相连接。

7.根据权利要求1所述辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述直线轴承连接件以圆柱体为主体，以圆柱体轴线为中心，120° 三等均分，外接三个梯形件，其中，梯形件的上底与圆柱体固定连接，梯形件的直角边与圆柱体的底面位于同一平面内，梯形件的下底分别与直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C固定连接。

8.根据权利要求1所述辅助手动晶圆键合装置，其特征在于所述定角度合页的度数为180°。

9.一种利用权利要求1-8任一权利要求所述辅助手动晶圆键合装置进行晶圆键合的方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：

一、用镊子夹取晶圆片分别放入晶圆槽A和晶圆槽B中，并启动与长直角弯头接头相连的真空发生装置，吸住晶圆槽A中的晶圆；

二、利用氮气枪将晶圆片表面吸附的液体吹干；

三、晶圆片吹干之后，翻转晶圆槽A并用力下压使两片晶圆贴合。

10.根据权利要求9所述的利用辅助手动晶圆键合装置进行晶圆键合的方法，其特征在于所述方法还包括如下步骤：

晶圆片吹干之后，利用紫外光源同时照射两个晶圆片表面，在紫外光照射完成后，翻转晶圆槽A并用力下压使两片晶圆贴合。