[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201610331712.0 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN105960072B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 萧智鸿 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蒸镀装置及蒸镀方法，该蒸镀装置包含支撑件、蒸镀源、第一传感器、计算单元以及动作器。支撑件用以支撑基板。蒸镀源用以蒸镀蒸镀材料，使蒸镀材料沉积于基板上。第一传感器用以于多个检测位置检测蒸镀材料的多个蒸镀速率。计算单元用以依据于检测位置所检测到蒸镀材料的蒸镀速率，估计蒸镀角。动作器用以依据估计的蒸镀角来移动蒸镀源。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包含：一支撑件，用以支撑一基板；一蒸镀源，用以蒸镀一蒸镀材料，使该蒸镀材料沉积于该基板上；一第一传感器，用以于多个检测位置检测该蒸镀材料的多个蒸镀速率；一计算单元，用以依据于该些检测位置所检测到该蒸镀材料的该些蒸镀速率，估计一蒸镀角；以及一动作器，用以依据该估计的蒸镀角，来移动该蒸镀源；其中，该计算单元包含一比较单元，用以将所检测到的该些蒸镀速率与多个参考蒸镀速率分别进行比较，该动作器是用以依据所检测到的该些蒸镀速率与该些参考蒸镀速率之间的多个差值而移动该蒸镀源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610331712.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
