[发明专利]一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台

摘要

本发明为一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台，透射电镜样品台包括样品杆主体、压紧部分、自动复位装置和导轨；导轨连接样品杆主体的一端，在样品杆主体该端开有槽口，槽口内于轴心处设有圆弧形底槽，底槽的槽口处设置为矩形台阶，且在底槽的末端处设有阶梯形通孔；压紧部分包括压块及用于压紧压块的偏心轮；压块上对称样品杆主体底槽开有形状相同的圆弧形槽体，且该压块的导位凸台设置在阶梯形通孔内；自动复位装置为弹簧并被导位凸台穿过。本发明提供结构简单，便于加工和维护，可实现大角度倾转，可以直接加载三维原子探针试样，并当作透射电镜三维重构样品杆使用，获得的透射电镜图片可以用来直接矫正三维原子探针数据的重构结果。

主权项

一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台，其特征在于，透射电镜样品台包括：一样品杆主体(1)，其一端开有槽口，槽口的底部于样品杆主体(1)轴心处设有圆弧形底槽，该圆弧形底槽的槽口处设置为矩形台阶，且在圆弧形底槽的末端处设有阶梯形通孔；一使透射电镜样品台±75°旋转的导轨(5)，所述的导轨(5)连接样品杆主体(1)的开槽端；以及用于夹持试样的压紧部分，所述的压紧部分包括压块(3)及用于压紧压块(3)的偏心轮(2)，压块(3)上对称样品杆主体(1)底槽开有形状相同的圆弧形槽体，且该压块(3)的导位凸台设置在阶梯形通孔内；此外，还包括一被导位凸台穿过自动复位装置(4)，自动复位装置(4)为弹簧。