[发明专利]一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台有效

专利信息
申请号: 201610299098.4 申请日: 2016-05-07
公开(公告)号: CN105810543B 公开(公告)日: 2017-11-14
发明(设计)人: 刘吉梓;沙刚 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 南京理工大学专利中心32203 代理人: 邹伟红
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 观察 三维 原子 探针 试样 透射 样品
【权利要求书】:

1.一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台,其特征在于,透射电镜样品台包括:

一样品杆主体(1),其一端开有槽口,槽口的底部于样品杆主体(1)轴心处设有圆弧形底槽,该圆弧形底槽的槽口处设置为矩形台阶,且在圆弧形底槽的末端处设有阶梯形通孔;

一使透射电镜样品台±75°旋转的导轨(5),所述的导轨(5)连接样品杆主体(1)的开槽端;

以及用于夹持试样的压紧部分,所述的压紧部分包括压块(3)及用于压紧压块(3)的偏心轮(2),压块(3)上对称样品杆主体(1)底槽开有形状相同的圆弧形槽体,且该压块(3)的导位凸台设置在阶梯形通孔内;

此外,还包括一被导位凸台穿过自动复位装置(4),自动复位装置(4)为弹簧。

2.根据权利要求1所述的透射电镜样品台,其特征在于,样品杆主体(1)一端开的槽口为长12~14mm、宽2~3mm、深度为12~14mm的槽口;样品杆主体(1)的圆弧形底槽及与其对称的压块(3)上的圆弧形槽体均为:半径在0.7~0.8mm之间,槽长在8~10mm之间,矩形台阶的高度在0.1~0.5mm之间,台阶宽度在1.5~2.0mm之间。

3.根据权利要求1所述的透射电镜样品台,其特征在于,所述的压块(3)长在12~14mm之间,宽在2~3mm之间,厚度在0.8~1.2mm之间。

4.根据权利要求3所述的透射电镜样品台,其特征在于,所述的压块(3)上的导位凸台由上下两层凸台组成,两层凸台直径分别在1.8~2.2mm和1.3~1.7mm之间。

5.根据权利要求1所述的透射电镜样品台,其特征在于,所述的偏心轮(2)通过销轴固定在样品杆主体(1),偏心轮(2)采用对压块(3)施加的力应小于5N的偏心轮,半径在0.5~2mm之间。

6.根据权利要求5所述的透射电镜样品台,其特征在于,所述的偏心轮(2)宽度在2~3mm之间,总长在5~6mm之间,前端柄厚度在1~1.5mm之间,柄前端到销轴孔中心的距离在4.5~6mm之间。

7.根据权利要求5所述的透射电镜样品台,其特征在于,所述的偏心轮(2)通过拨针活动,偏心轮前端柄上设有直径为0.5mm,深度为2~4mm的圆柱形小孔为拨针插入位置。

8.根据权利要求1所述的透射电镜样品台,其特征在于,所述的弹簧外径在2~3mm之间,中径在2~2.5mm之间,弹簧长度在2~5mm之间。

9.根据权利要求1所述的透射电镜样品台,其特征在于,透射电镜样品台上的导轨(5)设置为两根,两根导轨(5)之间的外沿距离在3.5~5.0mm之间,导轨(5)的宽度在0.8~1.2mm之间,高度在0.8~1.2mm之间。

10.根据权利要求9所述的透射电镜样品台,其特征在于,所述的导轨(5)是过盈配合安装在样品杆主体(1)上,且在导轨(5)前端刻有纳米针尖试样定位标记。

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