[发明专利]一种谐振增强型热释电红外探测器有效
| 申请号： | 201610290352.4 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN105810773B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 梁志清;王涛;马振东;伍浏权;刘子骥 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L31/101 | 分类号： | H01L31/101;H01L31/0232;G01J5/20 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振增强型热释电红外探测器，属于热释电探测器技术领域。本发明的红外传感器单元中的吸收层为复合层结构，由底层至顶层依次包括底面设有金属反射层(1)和顶面设有第一金属吸收层(3)的钽酸锂晶片(2)，第一介质层(4)，第二金属吸收层(5)，第二介质层(6)以及第三金属层(7)；所述钽酸锂晶片(2)厚度为9～17微米。本发明采用平行平面腔使得光线在周期性透镜波导中来回振荡而不溢出波导之外,增加了入射光穿越吸收层的次数,从而间接提高了吸收层的吸收率，形成了稳定的透镜波导。本发明拓宽了热释电红外探测器的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 增强 型热释电 红外探测器 | ||
【主权项】：
一种谐振增强型热释电红外探测器，其红外传感器单元中吸收层为复合层结构，其特征在于，由底层至顶层依次包括：底面设有金属反射层(1)和顶面设有第一金属吸收层(3)的钽酸锂晶片(2)，第一介质层(4)，第二金属吸收层(5)，第二介质层(6)以及第三金属层(7)；所述钽酸锂晶片(2)厚度为9～17微米，金属吸收层(3、5、7)的材料为镍铬合金，其厚度范围均为6～11纳米，介质层(4、6)的厚度范围均为3～6纳米。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
