[发明专利]定心装置及具有该定心装置的处理设备

摘要

一种定心装置，包含两个第一夹持总成及两个第二夹持总成，各第一夹持总成包括一第一夹持件，两第一夹持件用以导正并夹持第一晶圆的外周缘，使第一晶圆置中定位，各第二夹持总成包括一第二夹持件，两第二夹持总成的第二夹持件用以导正并夹持第二晶圆的外周缘，使第二晶圆置中定位，第二晶圆的尺寸与第一晶圆的尺寸不同，第二夹持件夹持第二晶圆的外周缘的夹持部位高度与第一夹持件夹持第一晶圆的外周缘的夹持部位高度相同，借此，第一、第二夹持件能在同一水平高度位置分别对不同尺寸的第一、第二晶圆进行置中定位。本申请还包括一种具有该定心装置的处理设备。

主权项

一种定心装置；其特征在于：该定心装置包含两个第一夹持总成，及两个第二夹持总成，各该第一夹持总成包括一第一夹持件，该两第一夹持总成的该第一夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第一夹持总成的该第一夹持件用以导正并夹持一承载盘所承载的一第一晶圆的一外周缘，使该第一晶圆置中定位，各该第二夹持总成包括一第二夹持件，该两第二夹持总成的该第二夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第二夹持总成的该第二夹持件用以导正并夹持该承载盘所承载的一第二晶圆的一外周缘，使该第二晶圆置中定位，该第二晶圆的尺寸与该第一晶圆的尺寸不同，该第二夹持件夹持该第二晶圆的该外周缘的夹持部位高度与该第一夹持件夹持该第一晶圆的该外周缘的夹持部位高度相同。