[发明专利]定心装置及具有该定心装置的处理设备

权利要求书

1.一种定心装置；其特征在于：

该定心装置包含两个第一夹持总成，及两个第二夹持总成，各该第一夹持总成包括一第一夹持件，该两个第一夹持总成的该第一夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两个第一夹持总成的该第一夹持件用以导正并夹持一承载盘所承载的一第一晶圆的一外周缘，使该第一晶圆置中定位，各该第二夹持总成包括一第二夹持件，该两个第二夹持总成的该第二夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两个第二夹持总成的该第二夹持件用以导正并夹持该承载盘所承载的一第二晶圆的一外周缘，使该第二晶圆置中定位，该第二晶圆的尺寸与该第一晶圆的尺寸不同，各该第二夹持总成设置于对应的该第一夹持总成的该第一夹持件顶端，该第一夹持件包含一第一爪部，该第一爪部包括一顶面，该第一夹持件夹持该第一晶圆的该外周缘的夹持部位设置于该顶面，该第二夹持件包含一第二爪部，该第二爪部包括一底面，该第二夹持件夹持该第二晶圆的该外周缘的夹持部位设置于该底面，该第二夹持件夹持该第二晶圆的该外周缘的夹持部位的高度与该第一夹持件夹持该第一晶圆的该外周缘的夹持部位的高度相同。

2.根据权利要求1所述的定心装置，其特征在于：该第一夹持件包含多个用以夹持该第一晶圆的该外周缘的第一夹持轮，所述第一夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，该第二夹持件包含多个用以夹持该第二晶圆的该外周缘的第二夹持轮，所述第二夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，所述第二夹持轮的高度与所述第一夹持轮的高度相同。

3.根据权利要求2所述的定心装置，其特征在于：所述第一、第二夹持轮呈交错状排列。

4.根据权利要求3所述的定心装置，其特征在于：所述第一夹持轮枢接于该顶面，所述第二夹持轮枢接于该底面。

5.根据权利要求4所述的定心装置，其特征在于：该第一夹持件还包含一与该第一爪部相连接的第一臂部，该第一臂部包括一上表面，各该第一夹持总成还包括一与该第一臂部相连接的第一驱动单元，该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件移动，该第二夹持件还包括一与该第二爪部相连接的第二臂部，各该第二夹持总成还包括一与该第二臂部相连接的第二驱动单元，该第二驱动单元设置于对应的该第一臂部的该上表面，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件移动。

6.根据权利要求5所述的定心装置，其特征在于：该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件在一第一初始位置，及一夹持该第一晶圆的该外周缘的第一夹持位置间移动，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件在一第二初始位置，及一第二夹持位置间移动，当该第二夹持件位在该第二初始位置时，该第二爪部位在对应的该第一爪部上方，各该第二夹持轮位于对应的两个相邻的第一夹持轮间，当该第二夹持件位在该第二夹持位置时，该第二臂部位在对应的该第一爪部上方，该第二爪部凸伸出对应的该第一爪部内侧且所述第二夹持轮夹持该第二晶圆的该外周缘。

7.根据权利要求5所述的定心装置，其特征在于：该第一驱动单元包含一导轨、一可滑动地连接于该导轨的滑动件、一与该滑动件螺接的导螺杆，及一用以驱动该导螺杆转动的马达，该两个第一夹持件其中一个的该第一臂部固定地连接于对应的该滑动件顶端，该两个第一夹持件其中另一个的该第一臂部可滑动地连接于对应的另一个该滑动件顶端，该两个第一夹持件其中另一个的该第一臂部的一外侧端与对应的另一个该滑动件的一挡板间设有一压缩弹簧。

8.根据权利要求1所述的定心装置，其特征在于：各该第二夹持总成设置于对应的该第一夹持总成的该第一夹持件顶端，各该第一夹持总成还包括一与该第一夹持件相连接的第一驱动单元，该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件移动，各该第二夹持总成还包括一与该第二夹持件相连接的第二驱动单元，该第二驱动单元设置于对应的该第一夹持件的一上表面，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件移动。