[发明专利]一种气体感测器及其制作方法在审
| 申请号： | 201610167941.3 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN106872549A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 廖育萱;李家宏;蔡群贤;李庭鹃;蔡群荣 | 申请（专利权）人： | 台湾奈米碳素股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 王玉双,祁建国 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工业园*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种气体感测器及其制作方法，气体感测器包含一基板、一加热层、一绝缘层及多个排列的检测单元，该加热层设置于该基板上，该绝缘层设置于该加热层上，该检测单元设置于该绝缘层上，该检测单元包括一检测电极、一阻隔部以及一反应感测膜，该阻隔部包括多个向上延伸的阻隔壁，该阻隔壁围绕该检测电极而形成一容置空间，该反应感测膜设置于该阻隔部内的该容置空间并和该检测电极接触，当该反应感测膜和一待测气体接触时会进行一电化学反应，使该检测电极产生一对应该待测气体的识别信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 感测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种气体感测器，其特征在于，包含有：一基板；一设置于该基板上的加热层；一设置于该加热层上的绝缘层；以及多个排列且设置于该绝缘层上的检测单元，该检测单元分别包括至少一检测电极、一围绕该检测电极的阻隔部以及一反应感测膜，该检测电极包括一第一电极及一第二电极，该第一电极包括一第一条状电极以及一自该第一条状电极延伸的第一指状电极，该第二电极包括一第二条状电极以及一自该第二条状电极延伸的第二指状电极，该第一指状电极和该第二指状电极彼此交替排列，该反应感测膜设置于该阻隔部内的一容置空间并和该检测电极接触；其中，该反应感测膜和一待测气体接触而进行一电化学反应，使该检测电极产生一对应该待测气体的识别信号。
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