[发明专利]一种气体感测器及其制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种气体感测器，尤其涉及一种具有低制造成本及简易工艺的气体感测器。

背景技术

气体感测器泛指检测气体的物理或化学性质的装置，而广泛应用于医疗、工业、科技、环保等各种领域。

如中国台湾发明专利公告第I458464号，提出一种可早期检测及辨识肺炎种类的呼吸器包含一吐气端管路及一气体辨识装置，该气体辨识装置是利用一气体辨识芯片来分析一病人由该吐气端管路所呼出的一混合气体以辨识该病人罹患的肺炎种类，该气体辨识芯片为包含一感测器阵列、一感测器介面电路、一随机类神经网路芯片、一记忆体及一微控制器，该微控制器连接该感测器介面电路、该随机类神经网路芯片及该记忆体并控制其运作。藉此，可早期检测并辨识肺炎的种类，以提供更有效的治疗。

于以上现有技术之中，是采半导体工艺进行感测器阵列的制造，然而，一般来说，此种感测器阵列的结构复杂，且半导体工艺的制造成本高昂，并不利于此种气体感测器于商业上的推广。

发明内容

本发明的主要目的，在于解决现有气体感测器的感测器阵列结构复杂，且因采用半导体工艺而具有于制造时需耗费大量时间以及制造成本较高昂的问题。

为达上述目的，本发明提供一种气体感测器，包含有一基板；一设置于该基板上的加热层；一设置于该加热层上的绝缘层；以及多个排列且设置于该绝缘层上的检测单元，该检测单元分别包括一检测电极、一围绕该检测电极的阻隔部以及一反应感测膜，该检测电极包括一第一电极及一第二电极，该第一电 极包括一第一条状电极以及一自该第一条状电极延伸的第一指状电极，该第二电极包括一第二条状电极以及一自该第二条状电极延伸的第二指状电极，该第一指状电极和该第二指状电极彼此交替排列，该反应感测膜设置于该阻隔部内的一容置空间并和该检测电极接触；其中，该反应感测膜和一待测气体接触而进行一电化学反应，使该检测电极产生一对应该待测气体的识别信号。

为达上述目的，本发明提供气体感测器的制作方法，包含下列步骤，提供一基板；于该基板上形成一加热层；于该加热层上形成一绝缘层；于该绝缘层上形成至少一检测电极，该检测电极包括一第一电极及一第二电极，该第一电极包括一第一条状电极以及一自该第一条状电极延伸的第一指状电极，该第二电极包括一第二条状电极以及一自该第二条状电极延伸的第二指状电极，该第一指状电极和该第二指状电极彼此交替排列；于该绝缘层上形成一阻隔部，该阻隔部围绕该检测电极，且于该检测电极上形成一容置空间；以及将一高分子材料填充至该阻隔部内的该容置空间并且形成一反应感测膜，而得到一气体感测器。

由以上可知，本发明相较于现有技艺可达到的功效在于，利用本发明得到的该气体感测器，结构相对简单，且制造方便，毋须采用半导体设备或工艺，适合大量生产且投入成本较低。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1，为本发明一实施例的气体感测器俯视示意图；

图2，为图1的A-A方向剖面示意图；

图3，为本发明一实施例的检测电极示意图；

图4A至图4D，为本发明一实施例的制作流程图。

具体实施方式

涉及本发明的详细说明及技术内容，现就配合附图说明如下：

请搭配参阅图1、图2及图3所示，分别为本发明一实施例的气体感测器俯视示意图、图1的A-A方向剖面示意图及检测电极示意图，本发明为一种气 体感测器1，包含一基板10、一加热层20、一绝缘层30及多个排列的检测单元40，该加热层20设置于该基板10上，该基板10的材料可为玻璃、铟锡氧化物或聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，简称PET)。该加热层20的材料为选用可加热至一高于室温的温度者，于本发明的一实施例中，该加热层20的材料可为铟锡氧化物，且较佳地接受一电流而加热至一介于30℃至70℃之间的温度。该绝缘层30设置于该加热层20上，其中该绝缘层30的材料可为聚对苯二甲酸乙二酯。