[发明专利]一种气体感测器及其制作方法

权利要求书

1.一种气体感测器，其特征在于，包含有：

一基板；

一设置于该基板上的加热层；

一设置于该加热层上的绝缘层；以及

多个排列且设置于该绝缘层上的检测单元，该检测单元分别包括至少一检测电极、一围绕该检测电极的阻隔部以及一反应感测膜，该检测电极包括一第一电极及一第二电极，该第一电极包括一第一条状电极以及一自该第一条状电极延伸的第一指状电极，该第二电极包括一第二条状电极以及一自该第二条状电极延伸的第二指状电极，该第一指状电极和该第二指状电极彼此交替排列，该反应感测膜设置于该阻隔部内的一容置空间并和该检测电极接触；

其中，该反应感测膜和一待测气体接触而进行一电化学反应，使该检测电极产生一对应该待测气体的识别信号。

2.根据权利要求1所述的气体感测器，其特征在于，该基板的材料择自于玻璃、铟锡氧化物及聚对苯二甲酸乙二酯所组成的群组。

3.根据权利要求1所述的气体感测器，其特征在于，该加热层接受一电流而加热至一介于30℃至70℃之间的温度。

4.根据权利要求1所述的气体感测器，其特征在于，该加热层的材料为铟锡氧化物。

5.根据权利要求1所述的气体感测器，其特征在于，该绝缘层的材料为聚对苯二甲酸乙二酯。

6.根据权利要求1所述的气体感测器，其特征在于，该检测电极的材料择自于铟锡氧化物、铜、镍、铬、铁、钨、磷、钴及银所组成的群组。

7.根据权利要求1所述的气体感测器，其特征在于，该阻隔部包括多个远离该绝缘层而向上延伸的阻隔壁，该阻隔壁围绕出该容置空间。

8.根据权利要求1所述的气体感测器，其特征在于，该检测电极的该第一条状电极与该第二条状电极沿一第一轴向延伸且平行设置，该第一指状电极沿一与该第一轴向相异的第二轴向自该第一条状电极朝该第二条状电极延伸，该第二指状电极沿该第二轴向自该第二条状电极朝该第一条状电极延伸，该第一指状电极与该第二指状电极呈平行排列设置。

9.一种气体感测器的制作方法，其特征在于，包含下列步骤：

提供一基板；

于该基板上形成一加热层；

于该加热层上形成一绝缘层；

于该绝缘层上形成至少一检测电极，该检测电极包括一第一电极及一第二电极，该第一电极包括一第一条状电极以及一自该第一条状电极延伸的第一指状电极，该第二电极包括一第二条状电极以及一自该第二条状电极延伸的第二指状电极，该第一指状电极和该第二指状电极彼此交替排列；

于该绝缘层上形成一阻隔部，该阻隔部围绕该检测电极，且于该检测电极上形成一容置空间；以及

将一高分子材料填充至该阻隔部内的该容置空间并且形成一反应感测膜，而得到一气体感测器。

10.根据权利要求9所述的气体感测器的制作方法，其特征在于，该基板材质择自于玻璃、铟锡氧化物及聚对苯二甲酸乙二酯所组成的群组。

11.根据权利要求9所述的气体感测器的制作方法，其特征在于，该加热层接受一电流而加热至一介于30℃至70℃之间的温度。

12.根据权利要求9所述的气体感测器的制作方法，其特征在于，该加热层的材料为铟锡氧化物。

13.根据权利要求9所述的气体感测器的制作方法，其特征在于，该绝缘层的材料为聚对苯二甲酸乙二酯。

14.根据权利要求9所述的气体感测器的制作方法，其特征在于，该检测电极的材料择自于铟锡氧化物、铜、镍、铬、铁、钨、磷、钴及银所组成的群组。

15.根据权利要求9所述的气体感测器的制作方法，其特征在于，该阻隔部包括多个远离该绝缘层而向上延伸的阻隔壁，该阻隔壁围绕出该容置空间。

16.根据权利要求9所述的气体感测器的制作方法，其特征在于，该检测电极的该第一条状电极与该第二条状电极沿一第一轴向延伸且平行设置，该第一指状电极沿一与该第一轴向相异的第二轴向自该第一条状电极朝该第二条状电极延伸，该第二指状电极沿该第二轴向自该第二条状电极朝该第一条状电极延伸，该第一指状电极与该第二指状电极呈平行排列设置。