[发明专利]OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备有效
| 申请号： | 201610139686.1 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN107179654B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 洪定洋 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 臧云霄;钟宗 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，显影方法包括以下步骤：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。本发明通过调节显影液在面板上的停留时间，从而控制面板从第一侧到第二侧之间的光阻图案的线型的粗细，以此补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | oled 面板 显影 方法 以及 制造 设备 | ||
【主权项】：
一种OLED面板的显影方法，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，其特征在于，包括以下步骤：步骤(1)：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；步骤(2)：显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及步骤(3)：从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。
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