[发明专利]OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备有效
| 申请号： | 201610139686.1 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN107179654B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 洪定洋 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 臧云霄;钟宗 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 面板 显影 方法 以及 制造 设备 | ||
1.一种OLED面板的显影方法，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，其特征在于，包括以下步骤：
步骤(1)：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；
步骤(2)：显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及
步骤(3)：从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。
2.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(1)中，所述基板上具有经过曝光的光阻图案。
3.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(2)中，所述基板与水平面之间夹角范围是10°至30°。
4.如权利要求3所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述基板与水平面之间夹角是20°。
5.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(3)中，水洗的喷洒方向平行于基板。
6.一种OLED面板，其特征在于，由如权利要求1至5中任意一项所述的OLED面板的显影方法制得，包括：第一侧和相对的第二侧，所述第一侧设有集成电路，其中，越靠近所述第一侧的光阻图案的线型宽度越细，越靠近所述第二侧的光阻图案的线型宽度越宽。
7.如权利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述第一侧与所述第二侧之间的电压降为零。
8.如权利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述集成电路连接一移动终端的主板。
9.一种OLED面板制造设备，其特征在于，包括一显影液喷布装置和一水洗装置；
从基板的第一侧向第二侧喷布显影液进行显影，显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧,从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗。
10.如权利要求9所述的OLED面板制造设备，其特征在于：更包括一抬举装置，所述抬举装置用以抬起所述OLED面板的一侧，使所述OLED面板的平面与水平面呈现一夹角。
11.如权利要求10所述的OLED面板制造设备，其特征在于：所述夹角为10°至30°。
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