[发明专利]OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备

说明书

本发明提供了一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，显影方法包括以下步骤：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。本发明通过调节显影液在面板上的停留时间，从而控制面板从第一侧到第二侧之间的光阻图案的线型的粗细，以此补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。

技术领域

本发明涉及OLED面板制程领域，尤其涉及一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备。

背景技术

现有技术的OLED面板制程中需要在一个玻璃大板上同时制作多块OLED面板，OLED面板呈矩阵排列在玻璃大板上。现有技术的OLED面板的显影方法中包含喷布显影液和水洗两个步骤，会由喷布显影液的设备从玻璃大板的一侧向另一个进行喷布，并且水洗设备也会从玻璃大板的一侧向另一个进行水洗，洗去显影液。

目前的显影方法中喷布显影液的进行方向A与水洗的进行方向B是相同的。图1为现有技术的OLED面板的显影方法的流程图。如图1所示，现有的OLED面板的显影方法的流程包括以下步骤

步骤S10’：从基板的第一侧H向第二侧L喷布显影液进行显影，所述基板处于水平状态。

步骤S20’：显影完成后，抬起所述基板的第一侧H(参见图2，抬高基板的方向为C)，使所述基板相对于水平面倾斜。

步骤S30’：从基板的第一侧H向第二侧L进行水洗，清除显影液。

图2为现有技术的OLED面板显影过程中的示意图。图3为现有技术的OLED面板显影过程中的俯视图。如图2和3所示，在这一过程中，所述水洗的进行方向B与所述喷布显影液的进行方向A相同。通过现有技术的制程的OLED面板10’包括：第一侧H和相对的第二侧L，所述第一侧H设有集成电路20’。OLED面板10’的显示效果证明，这种结构下，靠近集成电路20’的电压较高导致相应的亮度升高，远离集成电路20’的电压较低导致相应的亮度也降低，使得OLED面板10’的两侧之间形成电压降，造成亮度不均匀，影响OLED面板10’的质量。

有鉴于此，发明人提供了一种能够补偿OLED面板两侧的电压降的OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的在于提供一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，克服现有技术的困难，能够补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。

根据本发明的一个方面，提供一种OLED面板的显影方法，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，包括以下步骤：

步骤(1)：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；

步骤(2)：显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及

步骤(3)：从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。

优选地，所述步骤(1)中，所述基板上具有经过曝光的光阻图案。

优选地，所述步骤(2)中，所述基板与水平面之间夹角范围是10°至30°。

优选地，所述基板与水平面之间夹角是20°。

优选地，所述步骤(3)中，水洗的碰洒方向平行于基板。