[发明专利]具有远红外光的温度传感器测试装置

摘要

本发明提供了一种具有远红外光的温度传感器测试装置，包括有：一测试腔体、一测试载板、一测试座、一远红外光源单元、一导波管、一浮动机构、一加热单元以及一控制单元。其中，测试腔体内层具有一隔热材质，测试载板设置于测试腔体内，测试座设置于测试载板上并位于测试腔体内，用以置放一待测芯片；远红外光源单元设置于测试腔体外，导波管设置于测试座与远红外光源单元之间，用以引导远红外光源单元所产生的光源直接照射于待测芯片的感光区；浮动机构设置于导波管与远红外光源单元之间，具有一弹性件，用以提供一预力使导波管触压测试座；加热单元用以对测试载板加热，控制单元则电连接加热单元。因此，可提升测试腔体内温度的精确度。

主权项

1.一种具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，包括：一测试腔体，其内层具有一隔热材质；一测试载板，设置于该测试腔体内；一测试座，设置于该测试载板上并位于该测试腔体内，用以置放一待测芯片；一远红外光源单元，设置于该测试腔体外；一导波管，设置于该测试座与该远红外光源单元之间，用以引导该远红外光源单元所产生的光源直接照射于该待测芯片的感光区；一浮动机构，设置于该导波管与该远红外光源单元之间，具有一弹性件，用以提供一预力使该导波管触压该测试座；一加热单元，用以对该测试载板加热；以及一控制单元，电连接该加热单元。