[发明专利]具有远红外光的温度传感器测试装置

说明书

本发明提供了一种具有远红外光的温度传感器测试装置，包括有：一测试腔体、一测试载板、一测试座、一远红外光源单元、一导波管、一浮动机构、一加热单元以及一控制单元。其中，测试腔体内层具有一隔热材质，测试载板设置于测试腔体内，测试座设置于测试载板上并位于测试腔体内，用以置放一待测芯片；远红外光源单元设置于测试腔体外，导波管设置于测试座与远红外光源单元之间，用以引导远红外光源单元所产生的光源直接照射于待测芯片的感光区；浮动机构设置于导波管与远红外光源单元之间，具有一弹性件，用以提供一预力使导波管触压测试座；加热单元用以对测试载板加热，控制单元则电连接加热单元。因此，可提升测试腔体内温度的精确度。

技术领域

本发明关于一种温度传感器测试装置，尤指一种适用于测试耳温枪的温度传感器之具有远红外光的温度传感器测试装置。

背景技术

在半导体元件晶圆测试中，测试系统常需在特定环境下测试产品性能，如在高温与低温的工作环境，其测试系统所提供测试温度的精度，大约仅有±1℃，其精确度有限。

至于目前现有市场上，尚未有针对感应远红外8μm～12μm光波段人体辐射的温度的温度传感器开发相关的测试设备，而倘若使用上述一般精度仅有±1℃的温度测试设备，并不能使用于精度需求要达到±0.1℃的耳温枪的温度传感器，而若勉强使用，所测试的产品其可靠度必定不够。

发明内容

本发明的主要目在于，提供一种具有远红外光的温度传感器测试装置，能利用导波管引导远红外光源单元所产生的光源直接照射于待测芯片的感光区，且利用浮动机构使导波管紧密贴合测试座。因此，远红外光不会经由导波管与测试座之间逸散，使远红外光的能量集中照射于待测芯片上，增加测试的精确度，其精确度可达±0.1℃。

本发明的另一目的在于，提供一种具有远红外光的温度传感器测试装置，能利用测试腔体的内层具有保温棉、或电木等隔热材质，可使测试腔体内达到恒温的效果，并且在隔热材质的内层镀上一银层，使内层的热能不易散失，提升温度控制的准确度。

为达成上述目的，本发明的具有远红外光的温度传感器测试装置包括有：一测试腔体、一测试载板(Load Board)、一测试座(Socket)、一远红外光源单元(Infrared LightSource)、一导波管、一浮动机构、一加热单元以及一控制单元。其中，测试腔体内层具有一隔热材质，测试载板设置于测试腔体内，测试座设置于测试载板上并位于测试腔体内，用以置放一待测芯片；远红外光源单元设置于测试腔体外，导波管设置于测试座与远红外光源单元之间，用以引导远红外光源单元所产生的光源直接照射于待测芯片的感光区；浮动机构设置于导波管与远红外光源单元之间，具有一弹性件，用以提供一预力使导波管触压测试座；加热单元用以对测试载板加热，控制单元则电连接加热单元。

上述测试腔体内层所具有的隔热材质可为保温棉、电木或其他等效隔热材质的材料，其热导率极低，具有绝热、绝缘、耐高温的特性，因此可提升测试腔体内部温度控制的精确度。

上述隔热材质的内层可镀上一银层或其他等效材质的材料，其具有极高的反射率，因此可使内层的热能不易散失。

本发明可还包括一8μm～12μm光波段的滤光片，该滤光片设置于浮动机构与远红外光源单元之间，因此可减少非测试波段的热干扰。

上述测试腔体可具有一上盖，该远红外光源单元固设于该上盖上，该上盖则可固设于一可伸缩的连接臂上，通过连接臂可上伸至特定高度及侧掀的功能，可方便取出测试完成的芯片及置放待测芯片，且整体测试装置可直接与分类机结合成测试设备。

上述远红外光源单元可包覆一隔热板或其他等效功能的构件，因此可减少热能的散失。

上述导波管可镀上一金层，以提升光源的传导效率，且该导波管的内部直径与远红外光的温度传感器的感测区大小一致，因此可让感测区完全吸收远红外光，增加测试温度的精确度。