[发明专利]具有远红外光的温度传感器测试装置

权利要求书

1.一种具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，包括：

一测试腔体，其内层具有一隔热材质；

一测试载板，设置于该测试腔体内；

一测试座，设置于该测试载板上并位于该测试腔体内，用以置放一待测芯片；

一远红外光源单元，设置于该测试腔体外；

一导波管，设置于该测试座与该远红外光源单元之间，用以引导该远红外光源单元所产生的光源直接照射于该待测芯片的感光区；

一浮动机构，设置于该导波管与该远红外光源单元之间，具有一弹性件，用以提供一预力使该导波管触压该测试座；

一加热单元，用以对该测试载板加热；以及

一控制单元，电连接该加热单元。

2.根据权利要求1所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该隔热材质是指保温棉、或电木。

3.根据权利要求2所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该隔热材质的内层镀上一银层。

4.根据权利要求1所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，还包括一8μm～12μm光波段的滤波片，设置于该浮动机构与该远红外光源单元之间。

5.根据权利要求1所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该测试腔体具有一上盖，该远红外光源单元固设于该上盖上。

6.根据权利要求5所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该上盖固设于一可伸缩的连接臂上。

7.根据权利要求1所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该远红外光源单元包覆一隔热板。

8.根据权利要求1所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该导波管镀上一金层，以提升光源的传导效率。

9.根据权利要求1所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该导波管具有一穿孔及一内轴心。

10.根据权利要求1所述的具有远红外光的温度传感器测试装置，其特征在于，该浮动机构更包括有一限位板、一凹槽及一密封环，该限位板环设于该导波管的一端，该弹性件设置于该限位板上，该密封环环设于该凹槽。