[发明专利]一种兼容不同规格之探针的探针卡

摘要

一种兼容不同规格之探针的探针卡，包括：基板，基板上间隔设置用于与外界测试仪器电连接的电导体，电导体之异于基板外侧的一端设置焊点；卡环，固定设置在所述基板之内侧，且卡环上设置的金属触点与基板之焊点电连接；探针卡板，活动式设置在卡环上，且探针卡板上固定设置的探针与电导体电连接。本发明兼容不同规格之探针的探针卡在进行不同规格晶圆的电气性能测试过程中，仅需更换具有相应数量和间距的探针卡板，便可分别完成各晶圆的测试，不仅操作简单，而且减少了基板的更换，降低了生产成本。

主权项

1.一种兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述兼容不同规格之探针的探针卡，包括：基板，所述基板上间隔设置用于与外界测试仪器电连接的电导体，所述电导体之异于基板外侧的一端设置焊点；卡环，所述卡环固定设置在所述基板之内侧，且所述卡环上设置的金属触点与所述基板之焊点电连接；探针卡板，所述探针卡板活动式设置在所述卡环上，且所述探针卡板上固定设置的探针与所述电导体电连接，通过更换活动式设置在所述卡环上之具有探针的探针卡板，实现具有不同焊垫数量和间距的待测试晶圆之电气测试。