[发明专利]一种兼容不同规格之探针的探针卡

说明书

一种兼容不同规格之探针的探针卡，包括：基板，基板上间隔设置用于与外界测试仪器电连接的电导体，电导体之异于基板外侧的一端设置焊点；卡环，固定设置在所述基板之内侧，且卡环上设置的金属触点与基板之焊点电连接；探针卡板，活动式设置在卡环上，且探针卡板上固定设置的探针与电导体电连接。本发明兼容不同规格之探针的探针卡在进行不同规格晶圆的电气性能测试过程中，仅需更换具有相应数量和间距的探针卡板，便可分别完成各晶圆的测试，不仅操作简单，而且减少了基板的更换，降低了生产成本。

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种兼容不同规格之探针的探针卡。

背景技术

众所周知，探针卡用于晶圆级测试，其作用是实现测试仪器和晶圆的信号传输。即，通过所述探针卡上设置的探针与待测芯片上的金属垫接触，配合测试仪器及相关软件完成自动测试。显然地，所述探针之间距需要与所述金属垫之间距相吻合，且所述探针卡上探针的数量也需依据金属垫数量设置。

但是，现行的探针卡之探针数量和间距均固定设置，针对不同的待测试晶圆产品需要更换不同的探针卡。另一方面，现有的晶圆产品种类繁多，不同的晶圆产品存在不同的金属垫数量或者不同的金属垫间距，在进行晶圆测试过程中则需要购买相应的特定数量和间距的探针卡，以满足其测试要求。明显地，探针卡的频繁更换不仅增添了日常工作量，降低人工效率，而且极大的增加了公司生产成本。

寻求一种结构简单、操作方便，可兼容不同规格之探针的探针卡已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种兼容不同规格之探针的探针卡。

发明内容

本发明是针对现有技术中，传统的探针卡之探针数量和间距均固定设置，针对不同的待测试晶圆产品需要更换不同的探针卡，不仅增添了日常工作量，降低人工效率，而且极大的增加了公司生产成本等缺陷提供一种兼容不同规格之探针的探针卡。

为实现本发明之目的，本发明提供一种兼容不同规格之探针的探针卡，所述兼容不同规格之探针的探针卡，包括：基板，所述基板上间隔设置用于与外界测试仪器电连接的电导体，所述电导体之异于基板外侧的一端设置焊点；卡环，所述卡环固定设置在所述基板之内侧，且所述卡环上设置的金属触点与所述基板之焊点电连接；探针卡板，所述探针卡板活动式设置在所述卡环上，且所述探针卡板上固定设置的探针与所述电导体电连接。

可选地，所述基板呈环状设置，所述基板上间隔设置的电导体呈辐条式布置，所述电导体之位于所述基板的内环处设置焊点。

可选地，所述探针卡板从与待测试晶圆的一侧活动式设置在所述卡环上。

可选地，所述探针卡板和所述卡环之活动式设置的方式为将所述探针卡板采用插入式的方式固定设置在所述卡环中。

可选地，所述探针卡板和所述卡环之活动式设置的方式为将所述探针卡板采用边缘卡扣的方式固定设置在所述卡环中。

可选地，所述探针卡板和所述卡环之活动式设置的方式为将所述探针卡板采用旋钮固定的方式设置在所述卡环中。

可选地，所述探针卡板上固定设置的探针的数量和间距均根据待测试晶圆之焊垫数量和间距设置。

可选地，通过更换活动式设置在所述卡环上之具有探针的探针卡板，实现具有不同焊垫数量和间距的待测试晶圆之电气测试。

综上所述，本发明兼容不同规格之探针的探针卡在进行不同规格晶圆的电气性能测试过程中，仅需更换具有相应数量和间距的探针卡板，便可分别完成各晶圆的测试，不仅操作简单，而且减少了基板的更换，降低了生产成本。

附图说明

图1所示为本发明兼容不同规格之探针的探针卡结构示意图；