[发明专利]一种兼容不同规格之探针的探针卡

权利要求书

1.一种兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述兼容不同规格之探针的探针卡，包括：

基板，所述基板上间隔设置用于与外界测试仪器电连接的电导体，所述电导体之异于基板外侧的一端设置焊点；

卡环，所述卡环固定设置在所述基板之内侧，且所述卡环上设置的金属触点与所述基板之焊点电连接；

探针卡板，所述探针卡板活动式设置在所述卡环上，且所述探针卡板上固定设置的探针与所述电导体电连接，通过更换活动式设置在所述卡环上之具有探针的探针卡板，实现具有不同焊垫数量和间距的待测试晶圆之电气测试。

2.如权利要求1所述的兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述基板呈环状设置，所述基板上间隔设置的电导体呈辐条式布置，所述电导体之位于所述基板的内环处设置焊点。

3.如权利要求1所述的兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述探针卡板从与待测试晶圆的一侧活动式设置在所述卡环上。

4.如权利要求3所述的兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述探针卡板和所述卡环之活动式设置的方式为将所述探针卡板采用插入式的方式固定设置在所述卡环中。

5.如权利要求3所述的兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述探针卡板和所述卡环之活动式设置的方式为将所述探针卡板采用边缘卡扣的方式固定设置在所述卡环中。

6.如权利要求3所述的兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述探针卡板和所述卡环之活动式设置的方式为将所述探针卡板采用旋钮固定的方式设置在所述卡环中。

7.如权利要求1～6任一权利要求所述的兼容不同规格之探针的探针卡，其特征在于，所述探针卡板上固定设置的探针的数量和间距均根据待测试晶圆之焊垫数量和间距设置。