[发明专利]触控显示面板的制造方法有效
| 申请号： | 201610091025.6 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN105487279B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何佳新 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G06F3/041 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 孙小丁 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种触控显示面板的制造方法，包括：提供显示面板半成品，所述显示面板半成品包括阵列基板、彩色滤光片基板与液晶层，所述液晶层位于所述阵列基板与所述彩色滤光片基板之间，所述显示面板半成品已完成所述阵列基板、所述彩色滤光片基板与所述液晶层之间的组装；在所述彩色滤光片基板远离所述液晶层的一侧表面形成与触控感测层图案互补的光阻图案；在所述光阻图案和无所述光阻图案覆盖的所述彩色滤光片基板上形成ITO膜；选择性蚀刻ITO膜，所述光阻图案上方的所述ITO膜被蚀刻去除，并露出所述光阻图案，无所述光阻图案覆盖的所述彩色滤光片基板上方的所述ITO膜被保留；剥落所述光阻图案，形成所述触控感测层图案。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种触控显示面板的制造方法，其特征在于，所述触控显示面板的制造方法包括：提供显示面板半成品，所述显示面板半成品包括阵列基板、彩色滤光片基板与液晶层，所述液晶层位于所述阵列基板与所述彩色滤光片基板之间，所述显示面板半成品已完成所述阵列基板、所述彩色滤光片基板与所述液晶层之间的组装；在所述彩色滤光片基板远离所述液晶层的一侧表面形成与触控感测层图案互补的光阻图案；在所述光阻图案和无所述光阻图案覆盖的所述彩色滤光片基板上形成ITO膜，所述ITO膜包括沉积在所述彩色滤光片基板表面的第一ITO膜和沉积在光阻上的第二ITO膜，所述第一ITO膜在成膜过程中高度结晶化，所述第二ITO膜因光阻抑制作用仍保持非晶状态；利用草酸对非晶ITO和多晶ITO的蚀刻差异，选择性蚀刻所述ITO膜，所述第二ITO膜被草酸蚀刻去除，并露出所述光阻图案，所述第一ITO膜被保留；以及剥落所述光阻图案，形成所述触控感测层图案。
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