[发明专利]一种基板表面信息检测装置以及方法

摘要

本发明公开了一种基板表面信息检测装置和方法，喷淋源向待测基板表面均匀地喷洒液滴或在待测基板表面形成液体流，图像传感器用于记录并传输待检测基板表面的液体图像信息。当待检测基板部分区域不平整或者由于制作过程中出现金属残留或者异物掉落以及油污等污染的情况，则基板表面部分区域会因为上述情况具有不同的表面张力而使液体在基板表面呈现出不同的状态，通过分析图像传感器记录的液体图像信息，可以获得基板表面信息。本发明提供的基板表面信息检测装置和方法，能够预防和避免PI涂覆前基板表面的不良，对于缩短生产时间，提高生产效率改善产品良率有积极意义。

主权项

1.一种基板表面信息检测装置，其特征在于，包括，喷淋源，图像传感器和图像判断处理单元，其中，所述喷淋源用于向待测基板表面均匀地喷洒液滴或在所述待测基板表面形成液体流，所述图像传感器用于记录并传输所述待测基板表面的液体图像信息；所述图像判断处理单元用于接收所述图像传感器传输的液体图像信息，并根据所述液体图像信息判断所述待测基板的表面信息，所述表面信息包括所述待测基板表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度；所述图像判断处理单元是用于根据所述液体图像信息中液滴的分布和/或大小是否均匀来判断所述待测基板表面信息；或者，是用于根据所述液体图像信息中的所述液体流形成的液体膜表面的平整度来得到所述待测基板表面信息；所述图像判断处理单元还用于根据该液体图像信息确定所述待测基板表面内平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度超出预设范围的区域在所述待测基板表面内的位置。/n