[发明专利]一种基板表面信息检测装置以及方法

说明书

本发明公开了一种基板表面信息检测装置和方法，喷淋源向待测基板表面均匀地喷洒液滴或在待测基板表面形成液体流，图像传感器用于记录并传输待检测基板表面的液体图像信息。当待检测基板部分区域不平整或者由于制作过程中出现金属残留或者异物掉落以及油污等污染的情况，则基板表面部分区域会因为上述情况具有不同的表面张力而使液体在基板表面呈现出不同的状态，通过分析图像传感器记录的液体图像信息，可以获得基板表面信息。本发明提供的基板表面信息检测装置和方法，能够预防和避免PI涂覆前基板表面的不良，对于缩短生产时间，提高生产效率改善产品良率有积极意义。

技术领域

本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种基板表面信息检测的装置以及方法。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)制备过程中，聚酰亚胺(PI)涂覆工艺是一个非常重要的环节，PI涂覆一般是采用聚酰胺酸或者聚酰亚胺溶液，经过光敏树脂板(配向膜印刷版)，或者喷洒的方式进行涂覆的，PI涂覆完毕后，经过流平，预固化，固化后，或者采用摩擦取向，或者采用光固化取向的方式进行取向，然后滴加液晶，对盒，切割形成传统的TFT-LCD液晶盒；在PI涂覆过程中，可能会由于基板表面不平整等原因导致出现例如针孔状不良。这种针孔状不良在显示后端常常显示为白点或者黑点。

目前针对上述问题主要以出现不良后补救修复的方式解决。因此需要通过预防和避免的方式来减少这类不良。

发明内容

本发明为了解决现有技术中存在的问题，提供一种检测基板表面信息的方法和装置，能够在PI涂覆前检测基板表面的不良。预防和避免基板表面不良的问题。

本发明实施例提供一种基板表面信息检测装置，包括，喷淋源，图像传感器，其中，喷淋源用于向待测基板表面均匀地喷洒液滴或在待测基板表面形成液体流，图像传感器用于记录并传输待检测基板表面的液体图像信息。如果待检测基板部分区域不平整或者由于制作过程中出现金属残留或者异物掉落以及油污等污染的情况，则基板表面部分区域会因为上述情况具有不同的表面张力而使液体在基板表面呈现出不同的状态，喷淋源用于向待测基板上喷洒液滴或者形成液体流，液体附着在待测基板表面，图像传感器用于记录因基板表面状况呈现出不同状态的液体图像信息，能够通过分析液体图像信息得到基板表面状态。

具体地，基板表面信息检测装置还包括图像判断处理单元，图像判断处理单元用于接收图像传感器传输的液体图像信息，并根据液体图像信息判断基板的表面信息，表面信息包括基板表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度。由于待测基板部分区域的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度不同，通过判断图像传感器记录并传输的液体图像信息，可以得到基板表面的上述状态信息。

具体地，图像判断处理单元是用于根据液体图像信息中液滴的分布和/或大小是否均匀来判断基板表面信息；或者，是用于根据液体图像信息中的液体流形成的液体膜表面的平整度来得到基板表面信息。如果液滴在待测基板上的分布不均或者大小差异很大，或者液体膜表面出现不平整，则说明基板表面部分区域不平整，或者有异物或者表面存在油污。

在本发明的一种优选实施例中，图像判断处理单元还用于根据该液体图像信息确定基板表面内平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度超出预设范围的区域在基板表面内的位置。本领域技术人员可以根据需要设定基板平整度/清洁度/亲疏水程度的可接受预设范围，当发现液体图像信息中存在超出预设范围异常区域，则图像判断处理单元需要确认异常区域的具体位置。

在本发明的一种优选实施例中，液滴的直径范围为10^-1μm到10³μm。根据液晶显示基板中亚像素单元格的尺寸，喷淋源喷洒的液滴直径在这个范围内能够起到检测每个亚像素单元格对应的基板表面区域信息的作用。

本发明的一种优选实施例中，液滴的直径范围为1μm到30μm。液滴直径在这个范围内能够更细致的检测到更小单元的基板表面区域信息。