[发明专利]取下贴合装置及应用此装置的取下方法与贴合方法

摘要

本发明公开一种取下贴合装置及应用此装置的取下方法与贴合方法。取下贴合装置适于将一第一基板自一第二基板取下，或将第一基板贴合至第二基板，取下贴合装置包含有一载台、一可挠性固定件及一支撑元件。载台用于固定第一基板。可挠性固定件用于固定第二基板。支撑元件连接载台及可挠性固定件，且载台及可挠性固定件间隔一距离。载台、可挠性固定件与支撑元件之间共同形成一第一可变压腔室。第一可变压腔室具有一第一进出气口。

主权项

1.一种取下贴合装置，适于将一第一基板自一第二基板取下，或将该第一基板贴合至该第二基板，该取下贴合装置包含有：/n载台，具有一承载面、多个吸气口与一第一进出气口，该承载面用于承载该第一基板，该多个吸气口与该第一进出气口均形成于该载台的该承载面上，该多个吸气口位于该第一基板投影于该载台的投影区内，且该多个吸气口用于吸附承载于该承载面的该第一基板；/n可挠性固定件，用于固定该第二基板；以及/n支撑元件，连接该载台及该可挠性固定件，且该载台及该可挠性固定件间隔一距离，其中，该支撑元件包含多个侧墙部及一上盖部，该多个侧墙部介于该上盖部与该载台之间，该可挠性固定件固定于该多个侧墙部内部，且该可挠性固定件与该多个侧墙部及该上盖部的接合面保持一距离，其中该载台的该第一进出气口直接连通于该载台、该可挠性固定件与该支撑元件的该多个侧墙部之间共同形成的一第一可变压腔室。/n