[发明专利]取下贴合装置及应用此装置的取下方法与贴合方法

权利要求书

1.一种取下贴合装置，适于将一第一基板自一第二基板取下，或将该第一基板贴合至该第二基板，该取下贴合装置包含有：

载台，具有一承载面、多个吸气口与一第一进出气口，该承载面用于承载该第一基板，该多个吸气口与该第一进出气口均形成于该载台的该承载面上，该多个吸气口位于该第一基板投影于该载台的投影区内，且该多个吸气口用于吸附承载于该承载面的该第一基板；

可挠性固定件，用于固定该第二基板；以及

支撑元件，连接该载台及该可挠性固定件，且该载台及该可挠性固定件间隔一距离，其中，该支撑元件包含多个侧墙部及一上盖部，该多个侧墙部介于该上盖部与该载台之间，该可挠性固定件固定于该多个侧墙部内部，且该可挠性固定件与该多个侧墙部及该上盖部的接合面保持一距离，其中该载台的该第一进出气口直接连通于该载台、该可挠性固定件与该支撑元件的该多个侧墙部之间共同形成的一第一可变压腔室。

2.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包含至少一预剥离元件，用以于该第一基板与该第二基板之间产生一预裂口。

3.如权利要求2所述的取下贴合装置，其中该至少一预剥离元件为一高压喷嘴。

4.如权利要求2所述的取下贴合装置，其中该至少一预剥离元件包含有吸盘及连动杆，该连动杆连接于该支撑元件，而该吸盘可活动地设置于该连动杆上。

5.如权利要求2所述的取下贴合装置，其中该至少一预剥离元件包含有驱动件与楔型铲头，该楔型铲头可活动地设置于该驱动件。

6.如权利要求1所述的取下贴合装置，其中该支撑元件的该上盖部具有至少一第二进出气口，令该上盖部与该可挠性固定件之间形成一第二可变压腔室。

7.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括限位件及轨道件，该轨道件固定于该上盖部，该限位件可滑动地位于该轨道件上，以限制该第二基板的挠曲曲率。

8.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括位移监控模块，用以监控该可挠性固定件与该上盖部之间的距离变化。

9.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包含多个吸附件，固定于该支撑元件的该上盖部，且介于该上盖部与该可挠性固定件之间，该支撑元件的该上盖部具有多个第二进出气口，对应于该多个吸附件，并以气压改变该多个吸附件的长度。

10.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括至少一高度调整机构，连接于该支撑元件与该载台之间，以调整该载台与该可挠性固定件之间的该距离。

11.如权利要求1所述的取下贴合装置，该可挠性固定件介于该上盖部与该载台之间，且该可挠性固定件的一侧面贴附于该上盖部，而相对的另一侧面用以固定该第二基板。

12.如权利要求11所述的取下贴合装置，其中该可挠性固定件具有多个可变压隔间，该上盖部具有多个第二进出气口，分别对应于该多个可变压隔间。

13.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括由多个硬件与多个软件交错相连的一挠曲限位组件，固定于该可挠性固定件上，用以限制该可挠性固定件于一挠曲轴向挠曲变形。

14.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括多个轴件与多个连接件交错相连的一挠曲限位组件，固定于该可挠性固定件上，该多个轴件可枢转的连接于该多个连接件，用以限制该可挠性固定件于一挠曲轴向挠曲变形。