[发明专利]电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法在审

专利信息
申请号: 201610077524.X 申请日: 2016-02-04
公开(公告)号: CN105537782A 公开(公告)日: 2016-05-04
发明(设计)人: 曹强;姜澜;路彦辉 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: B23K26/382 分类号: B23K26/382;B23K26/70
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法。方法需要的装置包括:飞秒激光发生器,可调节强度的电场和六维移动平台。方法步骤包括:将氧化铝材料在丙酮、无水乙醇、去离子水中分别超声清洗5分钟;将氧化铝材料固定在六维移动平台上,飞秒激光发生器产生的飞秒激光经过5X物镜聚集到氧化铝材料上,飞秒激光形成的光路与平台成α角;调节飞秒激光的能量、重复频率、脉冲数等参数控制微孔的深径比,同时调节电场强度控制微孔弯曲的方向和弧度;将加工后的氧化铝材料从六维移动平台上取下,在丙酮、无水乙醇、去离子水中分别超声清洗5分钟。本发明提供的方法可实现对弯孔方向弯孔的弧度的控制。
搜索关键词: 电场 辅助 下飞秒 激光 制备 可控 方法
【主权项】:
一种电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法,其特征在于,所述方法需要的装置包括:飞秒激光发生器,可调节强度的电场和六维移动平台。
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