[发明专利]电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法在审
申请号: | 201610077524.X | 申请日: | 2016-02-04 |
公开(公告)号: | CN105537782A | 公开(公告)日: | 2016-05-04 |
发明(设计)人: | 曹强;姜澜;路彦辉 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/70 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法。方法需要的装置包括:飞秒激光发生器,可调节强度的电场和六维移动平台。方法步骤包括:将氧化铝材料在丙酮、无水乙醇、去离子水中分别超声清洗5分钟;将氧化铝材料固定在六维移动平台上,飞秒激光发生器产生的飞秒激光经过5X物镜聚集到氧化铝材料上,飞秒激光形成的光路与平台成α角;调节飞秒激光的能量、重复频率、脉冲数等参数控制微孔的深径比,同时调节电场强度控制微孔弯曲的方向和弧度;将加工后的氧化铝材料从六维移动平台上取下,在丙酮、无水乙醇、去离子水中分别超声清洗5分钟。本发明提供的方法可实现对弯孔方向弯孔的弧度的控制。 | ||
搜索关键词: | 电场 辅助 下飞秒 激光 制备 可控 方法 | ||
【主权项】:
一种电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法,其特征在于,所述方法需要的装置包括:飞秒激光发生器,可调节强度的电场和六维移动平台。
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