[发明专利]电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法

权利要求书

1.一种电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法，其特征在于，所述 方法需要的装置包括：飞秒激光发生器，可调节强度的电场和六维移动平 台。

2.如权利要求1所述的电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法，其 特征在于，所述方法步骤包括：

步骤1，将氧化铝材料在丙酮、无水乙醇、去离子水中分别超声清洗 5分钟；

步骤2，将氧化铝材料固定在所述六维移动平台上，飞秒激光发生器 产生的飞秒激光经过5X物镜聚集到氧化铝材料上，所述飞秒激光形成的 光路与平台成α角；

步骤3，调节所述飞秒激光的能量、重复频率、脉冲数等参数控制微 孔的深径比，同时调节所述电场强度控制微孔弯曲的方向和弧度；

步骤4，将加工后的氧化铝材料从所述六维移动平台上取下，在丙酮、 无水乙醇、去离子水中分别超声清洗5分钟。

3.如权利要求2所述的电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法，其 特征在于，调节所述六维移动平台平移的距离和加工光路中机械开关开启 和关闭的时间，可以控制相邻微孔之间的间距。

4.如权利要求3所述的电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法，其 特征在于：调节飞秒激光的能量、重复频率、脉冲数等参数，可以控制加 工出弯孔的孔径在20um-50um。

5.如权利要求4所述的电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法，其 特征在于：所述可调节强度的电场由可调节电压的直流电压源与两个电压 板组成，通过控制所述直流电压源电压进而控制所述电场的强度和方向， 可以控制弯孔的初始弯曲方向与弯曲弧度。