[发明专利]自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具

摘要

本发明公开了自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，属于半导体制造技术领域，包括硅圆片固定盘，所述硅圆片固定盘上设置有多个不同直径的圆弧夹持圈和用于固定硅圆片的离心压紧装置，所述硅圆片固定盘包括位于其中心的支撑盘、均布在支撑盘四周向外延伸的多个凸棱和设置在凸棱的端部可将所有凸棱连接固定在一起的加强外圈，所述凸棱呈由中心往外级数逐渐增加的台阶结构，所述圆弧夹持圈为连接相邻台阶平面的竖直弧形连接面。本发明通过固定盘及压紧装置可以自动固定硅圆片并进行正面及背面清洗，且可有效地规避夹具偏心、硅圆片被甩出的风险，使上下硅圆片便捷，不需手动固定，降低了人力成本。

主权项

1.自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，包括硅圆片固定盘，其特征在于：所述硅圆片固定盘上设置有多个不同直径的圆弧夹持圈和用于固定硅圆片的离心压紧装置，所述硅圆片固定盘包括位于其中心的支撑盘、均布在支撑盘四周向外延伸的多个凸棱和设置在凸棱的端部可将所有凸棱连接固定在一起的加强外圈，所述凸棱呈由中心往外级数逐渐增加的台阶结构，所述圆弧夹持圈为连接相邻台阶平面的竖直弧形连接面；所述离心压紧装置包括设置在所述竖直弧形连接面附近竖直向下的离心杆旋转槽和设置于离心杆旋转槽内的可旋转离心杆。