[发明专利]自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具

权利要求书

1.自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，包括硅圆片固定盘，其特征在于：所述硅圆片固定盘上设置有多个不同直径的圆弧夹持圈和用于固定硅圆片的离心压紧装置，所述硅圆片固定盘包括位于其中心的支撑盘、均布在支撑盘四周向外延伸的多个凸棱和设置在凸棱的端部可将所有凸棱连接固定在一起的加强外圈，所述凸棱呈由中心往外级数逐渐增加的台阶结构，所述圆弧夹持圈为连接相邻台阶平面的竖直弧形连接面；所述离心压紧装置包括设置在所述竖直弧形连接面附近竖直向下的离心杆旋转槽和设置于离心杆旋转槽内的可旋转离心杆。

2.根据权利要求1所述的自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，其特征在于：所述离心压紧装置还包括旋转销，所述离心杆上设置旋转销孔，所述离心杆旋转槽的两侧壁上设置有旋转销固定槽，所述旋转销穿过所述旋转销孔，两端固定于所述旋转销固定槽上。

3.根据权利要求1所述的自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，其特征在于：所述硅圆片固定盘上设置有三个直径分别为Φ100.4mm、Φ150.4mm、Φ200.4mm的圆弧夹持圈。

4.根据权利要求1所述的自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，其特征在于：所述凸棱在每一级台阶平面上设置有弹性支撑柱。

5.根据权利要求4所述的自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，其特征在于：所述弹性支撑柱采用聚四氟乙烯材料制成。

6.根据权利要求1所述的自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，其特征在于：所述凸棱共设置八条，相邻凸棱之间的夹角为45°。

7.根据权利要求1所述的自动旋转固定硅圆片的一体化清洗夹具，其特征在于：所述离心杆上设置有液体流动孔。