[发明专利]探针卡检测方法在审
| 申请号： | 201610024779.X | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN105699834A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 谢晋春;辛吉升 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种探针卡检测方法，包括如下步骤：步骤1，利用测试仪，探针台，光面铝片构建探针卡检测硬件环境；把要检验的探卡通道信息存储在探针卡检测库中，在探针卡检测程序中建立要检验的探卡特性良好的判断标准，符合规格标准，异常标准，OD量变化范围；步骤2，通过测试仪控制探针台OD量从小到大变化，每次变化后，进行扎针测试，得到每个探针的接触电阻结果；步骤3，探针卡检测程序对测试结果进行分析，并提供相应的结论及建议。本发明能够有效确认扎针痕迹。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种探针卡检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，利用测试仪，探针台，光面铝片构建探针卡检测硬件环境；把要检验的探针卡通道信息存储在探针卡检测库中，在探针卡检测程序中建立要检验的探针卡特性良好的判断标准，符合规格标准，异常标准，OD量变化范围；步骤2，通过测试仪控制探针台OD量从小到大变化，每次变化后，进行扎针测试，得到每个探针的接触电阻结果；步骤3，探针卡检测程序对测试结果进行分析，并提供相应的结论及建议。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司，未经上海华虹宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610024779.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电力回路通断测试器
- 下一篇：一种底面引线管壳封装的微波器件测试装置
