[发明专利]探针卡检测方法

权利要求书

1.一种探针卡检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，利用测试仪，探针台，光面铝片构建探针卡检测硬件环境；把 要检验的探针卡通道信息存储在探针卡检测库中，在探针卡检测程序中建 立要检验的探针卡特性良好的判断标准，符合规格标准，异常标准，OD量 变化范围；

步骤2，通过测试仪控制探针台OD量从小到大变化，每次变化后，进 行扎针测试，得到每个探针的接触电阻结果；

步骤3，探针卡检测程序对测试结果进行分析，并提供相应的结论及建 议。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述光面铝片为6英寸， 8英寸，12英寸或12英寸以上。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述探针卡检测库中还存 储有DUT信息。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：如果OD量设置到最大时， 仍有异常的探针卡通道，则在测试结果中显示提醒，维修后提供产线使用。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：如果OD量设置到最大时， 发现符合规格的探针卡通道超过一定数量，在测试结果中显示提醒保养， 保养后提供产线使用。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：如果OD量设置为非最大 值时，符合特性良好规格的探针卡通道超过一定数量；或者OD量设置到最 大时，所有探针卡通道符合特性良好，在测试结果显示探针卡直接用于量 产，直接提供产线使用。